[發明專利]一種單晶爐熱場無效
| 申請號: | 201010564009.7 | 申請日: | 2010-11-30 |
| 公開(公告)號: | CN101979720A | 公開(公告)日: | 2011-02-23 |
| 發明(設計)人: | 黃東;邢國強;呂庭;陶龍忠 | 申請(專利權)人: | 奧特斯維能源(太倉)有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/14 | 分類號: | C30B15/14 |
| 代理公司: | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
| 地址: | 215434 江蘇省蘇州*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 單晶爐熱場 | ||
1.一種單晶爐熱場,它包括:爐腔(1),所述爐腔(1)內設有保溫大蓋(2)、導流筒(4)、加熱器(5)、上保溫筒(6),中保溫筒(7)和爐底壓片層(8);導流筒(4)位于加熱器(5)的上方;上保溫筒(6)圍在導流筒(4)的外周;中保溫筒(7)位于加熱器(5)的外周;爐底壓片層(8)位于加熱器(5)的下方;其特征在于:所述爐底壓片層(8)由硬氈層(81)和軟氈層(82)混合疊加而成。
2.根據權利要求1所述的一種單晶爐熱場,其特征在于:所述單晶爐熱場內還設有封氣環(3),所述封氣環(3)位于上保溫大蓋上面。
3.根據權利要求2所述的一種單晶爐熱場,其特征在于:所述封氣環(3)的內徑為650-700mm,外徑為785-790mm,厚度為10mm-12mm。
4.根據權利要求1所述的一種單晶爐熱場,其特征在于:所述保溫大蓋(2)包括:上保溫大蓋(21)和下保溫大蓋(22);上保溫大蓋(21)位于上保溫筒(6)的上方,下保溫大蓋(22)連接上保溫筒(6)和導流筒(4)。
5.根據權利要求4所述的一種單晶爐熱場,其特征在于:所述下保溫大蓋(22)的外徑為550mm-600mm,上保溫大蓋(21)的內徑為505mm-520mm、外徑為680mm-790mm。
6.根據權利要求1所述的一種單晶爐熱場,其特征在于:所述導流筒(4)高度為315mm-330mm,導流筒(4)口徑為205mm-235mm。
7.根據權利要求1所述的一種單晶爐熱場,其特征在于:所述上保溫筒(6)的內徑為510mm-560mm,高度為160-170mm,厚度為50-80mm。
8.根據權利要求1所述的一種單晶爐熱場,其特征在于:所述爐腔(7)內中保溫筒(7)的高度為545mm-565mm,厚度為60-80mm。
9.根據權利要求1所述的一種單晶爐熱場,其特征在于:所述爐底壓片層(8)的高度為150mm-220mm。
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