[發明專利]底盤設置多出氣口的多晶硅還原爐無效
| 申請號： | 201010558470.1 | 申請日： | 2010-11-24 |
| 公開（公告）號： | CN102001660A | 公開（公告）日： | 2011-04-06 |
| 發明（設計）人： | 黃國強;段長春;李雪;劉春江 | 申請（專利權）人： | 天津大學 |
| 主分類號： | C01B33/03 | 分類號： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201 | 代理人： | 王麗 |
| 地址： | 300072 天*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 底盤 設置 氣口 多晶 還原 | ||
【權利要求書】：
1.一種底盤設置多出氣口的多晶硅還原爐，包括爐體，夾套，底盤，支座，多對電極，帶有石墨頭的硅芯，混合氣進氣管及進氣噴嘴，出氣口及出氣管，冷卻系統和觀察視鏡；其特征是還原爐底盤上設置多個出氣口(10)，出氣口分圈均勻設置在底盤上。
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