[發明專利]一種通過粒子束提高精密加工精度的方法無效
| 申請號： | 201010554326.0 | 申請日： | 2010-11-23 |
| 公開（公告）號： | CN102476405A | 公開（公告）日： | 2012-05-30 |
| 發明（設計）人： | 杜沖 | 申請（專利權）人： | 大連創達技術交易市場有限公司 |
| 主分類號： | B28D5/00 | 分類號： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 116011 遼寧省大*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 通過 粒子束 提高 精密 加工 精度 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種通過粒子束提高精密加工精度的方法，其特征在于：包括下列步驟：?
（1）利用SRIM?具有仿真功能的軟件按照切深、表面粗糙度或其他加工要求對加工參數進行模擬；?
（2）使用粒子束轟擊或照射待加工單晶脆性材料表面，施以模擬結果所得的能量和劑量；?
（3）利用超精密切削技術對粒子束轟擊后的單晶材料進行超精密切削加工，加工深度小于粒子束轟擊或照射的深度；?
（4）測試表征加工后的材料表面質量，對比加工表面質量改善情況。
2.根據權利要求?1?所述的一種通過粒子束提高精密加工精度的方法，其特征是，粒子束為質子束或氦離子束。
3.根據權利要求?1?所述的一種通過粒子束提高精密加工精度的方法，其特征是，所述的單晶脆性材料是單晶硅或單晶鍺。
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