[發(fā)明專利]Z軸電容式加速度計(jì)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010552669.3
• 申請(qǐng)日: 2010-11-19
• 公開（公告）號(hào): CN102466736B
• 公開（公告）日: 2012-05-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔣樂躍;周漢秦
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 美新半導(dǎo)體（無錫）有限公司
• 主分類號(hào): G01P15/125
• 分類號(hào): G01P15/125
• 代理公司: 無錫互維知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32236
• 代理人: 王愛偉

1.一種Z軸電容式加速度計(jì)，其包括電容感應(yīng)極板、驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊，所 述電容感應(yīng)極板包括正電容感應(yīng)極板和負(fù)電容感應(yīng)極板，其特征在于：其還 包括有連接所述電容感應(yīng)極板和所述驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊的連接梁，所述驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊 和電容感應(yīng)極板相互分離，所述電容感應(yīng)極板具有第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述驅(qū)動(dòng)質(zhì) 量塊具有第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸和第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸相互平行，正電容感應(yīng) 極板和負(fù)電容感應(yīng)極板分別位于驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊的兩側(cè)，所述正電容感應(yīng)極板和 負(fù)電容感應(yīng)極板相對(duì)于所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸對(duì)稱，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸設(shè)置在所述驅(qū) 動(dòng)質(zhì)量塊的一個(gè)側(cè)邊，所述驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊相對(duì)于所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸對(duì)稱，所述連 接梁與所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸和第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸平行；當(dāng)驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，所述電容 感應(yīng)極板通過所述連接梁隨之轉(zhuǎn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的Z軸電容式加速度計(jì)，其特征在于：所述第 一轉(zhuǎn)動(dòng)軸包括上第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸、下第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸，以及連接所述上第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸和 下第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸的第一錨點(diǎn)，所述上第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸和下第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸具有相同長度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的Z軸電容式加速度計(jì)，其特征在于：所述第 二轉(zhuǎn)動(dòng)軸包括上第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸、下第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸，以及連接所述上第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸和 下第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸的第二錨點(diǎn)，所述上第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸和下第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸具有相同長度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的Z軸電容式加速度計(jì)，其特征在于：所述連 接梁包括相同長度的上連接梁和下連接梁。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的Z軸電容式加速度計(jì)，其特征在于：其中電 容感應(yīng)極板的轉(zhuǎn)動(dòng)方向與驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊的轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反。