[發明專利]硅片的方塊電阻的測試方法及設備

有效

• 申請號: 201010548636.1
• 申請日: 2010-11-17
• 公開（公告）號: CN102200552A
• 公開（公告）日: 2011-09-28
• 發明（設計）人: 趙贊良;李化陽;楊立友
• 申請（專利權）人: 浙江正泰太陽能科技有限公司
• 主分類號: G01R27/02
• 分類號: G01R27/02;G01R1/04;H01L21/66
• 代理公司: 北京漢昊知識產權代理事務所(普通合伙) 11370
• 代理人: 馮譜

1.一種硅片的方塊電阻的測試方法，其特征在于，該方法包括：

a.將待測硅片置于載物板上，所述待測硅片與所述載物板相對固定；

b.移動所述載物板使測試探針對準所述待測硅片上的待測點；

c.所述測試探針接觸所述待測點并進行方塊電阻測試。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟b包括：

根據所述待測點分別設置對應的觸發點；

移動所述載物板；

在移動所述載物板的過程中若激活所述觸發點，則可逆地鎖定該載物板，并使所述測試探針對準所述觸發點對應的待測點。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟b包括：

根據所述待測點分別設置對應的觸發點；

移動所述載物板；

在移動所述載物板的過程中若激活所述觸發點，則發出提示信號；

停止移動所述載物板以使所述測試探針對準所述該觸發點對應的待測點。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟b包括：

根據所述待測點分別設置對應的觸發點；

移動所述載物板；

在移動所述載物板的過程中若激活所述觸發點，則接通所述測試探針的控制電路，所述控制電路被接通后控制所述測試探針接觸該觸發點對應的測試點并進行方塊電阻測試。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于：

所述控制電路是控制所述測試探針進行垂直運動的控制電路。

6.根據權利要求2至5任一項所述的方法，其特征在于，所述在移動所述載物板的過程中若激活所述觸發點包括：

移動所述載物板以激發設置在所述觸發點處的機械結構觸發結構；或

移動所述載物板以激發設置在所述觸發點處的光電信號觸發結構。

7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于：

用軌道凹槽限定所述載物板的移動軌跡。

8.根據權利要求7所述的方法，其特征在于：

將所述觸發點布置在所述載物板上并處于所述待測點的正下方。

9.根據權利要求8所述的方法，其特征在于：

所述軌道凹槽遍歷所述觸發點。

10.根據權利要求9所述的方法，其特征在于：

所述待測硅片是邊長為125mm或156mm的正四邊形硅片。

11.根據權利要求10所述的方法，其特征在于：

所述待測點在所述待測硅片上的排列形狀為n×n正四邊形矩陣，所述n為大于2的整數。

12.根據權利要求9所述的方法，其特征在于：

所述測試探頭是適用于四探針法測試方塊電阻的測試探頭。

13.一種載物臺，用于承載待測硅片以進行方塊電阻測試，其特征在于：

該載物臺包括用于承載所述待測硅片的載物板(100)，在所述載物板(100)上設置限位塊(200)，用于在所述載物板(100)移動時使所述待測硅片與該載物板(100)相對固定。

14.根據權利要求13所述的載物臺，其特征在于：

該載物臺還包括彈簧扣(300)和底座(400)，所述彈簧扣(300)與所述底座(400)相對固定；

所述彈簧扣(300)包括定位球(310)、彈簧(320)和殼體(330)，所述殼體(330)與所述底座(400)相對固定，所述殼體(330)內部的空腔中布置所述定位球(310)和彈簧(320)，使該彈簧(320)的一端彈性支撐所述定位球(310)；

所述載物板(100)的底面上設置軌道凹槽(130)和凹坑(140)，所述凹坑(140)按照預定規律分布在所述軌道凹槽(130)上，所述彈簧扣(300)臨近所述定位球(310)的一端置于所述軌道凹槽(130)內，并隨著所述載物板(100)的移動與該軌道凹槽(130)發生相對移動，在移動過程中所述定位球(310)與所述軌道凹槽(130)或凹坑(140)接觸。

15.根據權利要求14所述的載物臺，其特征在于：

所述定位球(310)的直徑大于彈簧(320)的內徑，設置該定位球(310)和彈簧(320)處于同一軸心線上；

所述凹坑(140)為半球形和圓柱體形疊加形成的凹坑。