[發(fā)明專利]物品輸送裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010541858.0
• 申請(qǐng)日: 2010-11-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102134003A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-07-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 分部健二
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 村田自動(dòng)化機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): B65G49/06
• 分類號(hào): B65G49/06
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 田軍鋒;舒艷君

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于輸送在LCD(Liquid?Crystal?Display：液晶顯示器)等FPD(Flat?Panel?Display：平板顯示器)面板中使用的玻璃基板等物品的物品輸送裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體工廠或者LCD工廠中存在用于處理在半導(dǎo)體或者LCD等中使用的物品的處理裝置。例如，在LCD工廠中存在用于對(duì)在LCD中使用的玻璃基板進(jìn)行蝕刻或清洗等的玻璃基板處理裝置。

在LCD工廠中，玻璃基板被保管于自動(dòng)化倉(cāng)庫(kù)，每當(dāng)對(duì)玻璃基板進(jìn)行處理時(shí)，利用堆垛起重機(jī)(stacker?crane)將玻璃基板從自動(dòng)化倉(cāng)庫(kù)出庫(kù)至物品交接工作臺(tái)(station)。出庫(kù)后的玻璃基板由物品輸送裝置自動(dòng)輸送至玻璃基板處理裝置。然后，利用玻璃基板處理裝置對(duì)玻璃基板實(shí)施預(yù)定的處理，然后再次利用物品輸送裝置將玻璃基板輸送至物品交接工作臺(tái)，并再次利用堆垛起重機(jī)將玻璃基板入庫(kù)至自動(dòng)化倉(cāng)庫(kù)。

以往，公知有使這種玻璃基板的保管和處理一體化的高效的自動(dòng)化倉(cāng)庫(kù)系統(tǒng)(專利文獻(xiàn)1)。該現(xiàn)有的自動(dòng)化倉(cāng)庫(kù)系統(tǒng)將玻璃基板的處理裝置設(shè)置在收納玻璃基板的貨架(rack)的背面，進(jìn)行玻璃基板的出庫(kù)和入庫(kù)。此時(shí)，如上所述，玻璃基板由堆垛起重機(jī)輸送至物品交接工作臺(tái)，然后由物品輸送裝置自動(dòng)輸送至基板處理裝置。

此處，對(duì)用于輸送玻璃基板等物品的第一現(xiàn)有的物品輸送裝置進(jìn)行說(shuō)明。第一現(xiàn)有的物品輸送裝置是一片一片地輸送玻璃基板的所謂的單片式的物品輸送裝置。圖16是第一現(xiàn)有的物品輸送裝置400的俯視圖。

如圖16所示，第一現(xiàn)有的物品輸送裝置400配置在堆垛起重機(jī)STK與玻璃基板處理裝置EQ之間。堆垛起重機(jī)STK沿著軌道行駛，并與物品輸送裝置400之間進(jìn)行物品的交接。

如圖16所示，第一現(xiàn)有的物品輸送裝置400具備第一物品交接工作臺(tái)440、第二物品交接工作臺(tái)450、供給端部460、排出端部470、第一方向轉(zhuǎn)換機(jī)480、第二方向轉(zhuǎn)換機(jī)490以及輸送帶410。

在第一物品交接工作臺(tái)440載置有用于收納從自動(dòng)化倉(cāng)庫(kù)搬出的玻璃基板的第一盒(cassette)441。在第一盒441中以預(yù)定的間隔呈水平多層狀地容納有處理前的多片玻璃基板。第一盒441由堆垛起重機(jī)STK從自動(dòng)化倉(cāng)庫(kù)出庫(kù)。

在第二物品交接工作臺(tái)450載置有用于收納由玻璃基板處理裝置EQ處理后的玻璃基板的第二盒451。在第二盒451中以預(yù)定的間隔呈水平多層狀地容納處理后的玻璃基板。收納有處理后的玻璃基板的第二盒451此后由堆垛起重機(jī)STK入庫(kù)至自動(dòng)化倉(cāng)庫(kù)。

在供給端部460載置有即將投入玻璃基板處理裝置EQ之前的玻璃基板。玻璃基板從供給端部460一片一片地被供給至玻璃基板處理裝置EQ。

由玻璃基板處理裝置EQ處理后的玻璃基板被排出至排出端部470。處理后的玻璃基板在到被移載至輸送帶410為止的期間內(nèi)都被載置于排出端部470。

第一方向轉(zhuǎn)換機(jī)480將從第一物品交接工作臺(tái)440接收到的處理前的玻璃基板移載至輸送帶410。并且，第一方向轉(zhuǎn)換機(jī)480將從排出端部470接收到的處理后的玻璃基板移載至輸送帶410。此時(shí)，在第一方向轉(zhuǎn)換機(jī)中，處理前或者處理后的玻璃基板的輸送方向被轉(zhuǎn)換。

第二方向轉(zhuǎn)換機(jī)490將處理前的基板從輸送帶410移載至供給端部460。并且，第二方向轉(zhuǎn)換機(jī)490將處理后的玻璃基板從輸送帶410移載至第二物品交接工作臺(tái)450。此時(shí)，在第二方向轉(zhuǎn)換機(jī)490中，處理前和處理后的玻璃基板的輸送方向被轉(zhuǎn)換。

輸送帶410是僅朝一個(gè)方向自動(dòng)輸送處理前和處理后的玻璃基板的驅(qū)動(dòng)輥式輸送帶。處理前或者處理后的玻璃基板由輸送帶410從第一方向轉(zhuǎn)換機(jī)480一片一片地輸送至第二方向轉(zhuǎn)換機(jī)490。

其次，使用圖16對(duì)輸送玻璃基板時(shí)的第一現(xiàn)有的物品輸送裝置400的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。另外，圖16中的空白箭頭表示處理前的玻璃基板所被輸送的裝載輸送路徑R41，黑箭頭表示處理后的玻璃基板所被輸送的卸載輸送路徑R42。

如圖16所示，在裝載輸送路徑R41中，處理前的玻璃基板被從載置于第一物品交接工作臺(tái)440的第一盒441移載至第一方向轉(zhuǎn)換機(jī)480。進(jìn)而，在由輸送帶410輸送至第二方向轉(zhuǎn)換機(jī)490之后被輸送至供給端部460。

并且，在卸載輸送路徑R42中，處理后的玻璃基板被從排出端部470移載至第一方向轉(zhuǎn)換機(jī)480，并由輸送帶410輸送至第二方向轉(zhuǎn)換機(jī)490。進(jìn)而被收納在載置于第二物品交接工作臺(tái)450的第二盒451中。