[發(fā)明專利]微機電濾波器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010535550.5
• 申請日: 2010-11-04
• 公開（公告）號: CN102468817A
• 公開（公告）日: 2012-05-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃俊哲;許豐家;張平;王欽宏
• 申請（專利權(quán)）人: 財團法人工業(yè)技術(shù)研究院
• 主分類號: H03H9/25
• 分類號: H03H9/25
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 周國城

1.一種微機電濾波器，其特征在于包括：

一第一基板；

一第二基板；

一輸入電極，所述輸入電極配置在所述第一基板上方；

一輸出電極，所述輸出電極配置在所述第二基板上方；

一第一懸掛式諧振器，所述第一懸掛式諧振器連接所述第一基板及所述第二基板；

一第二懸掛式諧振器，所述第二懸掛式諧振器連接所述第一基板及所述第二基板；

一壓電諧振器，所述壓電諧振器緊密地連結(jié)在所述第一懸掛式諧振器上方，所述壓電諧振器的上電極具有一叉指形式圖案，所述叉指形式圖案兩側(cè)分別與所述輸入電極、所述輸出電極連接，而配置在所述壓電諧振器的上電極下方依次為一第一壓電材料層與一第一下電極；以及

一耦合梁，在所述第一懸掛式諧振器與所述第二懸掛式諧振器之間以所述耦合梁做耦合連接，所述耦合梁用于傳遞聲波，并控制所述微機電濾波器的頻寬。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電濾波器，其特征在于：所述第一基板與所述第二基板是一體成型。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電濾波器，其特征在于：所述輸入電極與所述輸出電極的材質(zhì)為金屬。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電濾波器，其特征在于：所述第二懸掛式諧振器的材質(zhì)為硅或是絕緣層上有硅的半導(dǎo)體材料。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電濾波器，其特征在于：所述第一基板及所述第二基板的材質(zhì)為硅或是絕緣層上有硅的半導(dǎo)體材料。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電濾波器，其特征在于：所述耦合梁的材質(zhì)為硅或是絕緣層上有硅的半導(dǎo)體材料。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電濾波器，其特征在于：所述微機電濾波器還包括一第二壓電材料層與一第二下電極，所述第二壓電材料層配置在所述輸入電極下方，所述第二下電極配置在所述第二壓電材料層與所述第一基板之間。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電濾波器，其特征在于：所述微機電濾波器還包括一第三壓電材料層與一第三下電極，所述第三壓電材料層配置在所述輸出電極下方，所述第三下電極配置在所述第三壓電材料層與所述第二基板之間。

9.一種微機電濾波器，其特征在于包括：

一第一壓電區(qū)域；

一第二壓電區(qū)域；

一輸入電極，所述輸入電極配置在所述第一壓電區(qū)域上方；

一輸出電極，所述輸出電極配置在所述第二壓電區(qū)域上方；

一第一壓電諧振器，所述第一壓電諧振器包括：

一上電極具有一叉指形式圖案，所述叉指形式圖案與所述輸入電極或所述輸出電極連接；

一懸掛式壓電層，配置在所述上電極的下方，所述懸掛式壓電層連接所述第一壓電區(qū)域及所述第二壓電區(qū)域；以及

一第一下電極，配置在所述懸掛式壓電層下方；

一第二壓電諧振器，所述第二壓電諧振器連接所述第一壓電區(qū)域及所述第二壓電區(qū)域；以及

一耦合梁，在所述懸掛式壓電層與所述第二壓電諧振器之間以所述耦合梁做耦合連接，所述耦合梁用于傳遞聲波，并控制所述微機電濾波器的頻寬。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的微機電濾波器，其特征在于：所述輸入電極與所述輸出電極的材質(zhì)為金屬。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的微機電濾波器，其特征在于：所述第二壓電諧振器的材質(zhì)為壓電材料且不具有金屬的材質(zhì)。

12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的微機電濾波器，其特征在于：所述耦合梁的材質(zhì)為壓電材料。

13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的微機電濾波器，其特征在于：所述微機電濾波器還包括一第二下電極，所述第二下電極配置在所述第一壓電區(qū)域下方，所述第二下電極與所述第一下電極連接。

14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的微機電濾波器，其特征在于：所述微機電濾波器還包括一第三下電極，所述第三下電極配置在所述第二壓電區(qū)域下方，所述第三下電極與所述第一下電極連接。