[發明專利]納飛秒雙激光復合加工系統

無效

• 申請號: 201010535443.2
• 申請日: 2010-11-08
• 公開（公告）號: CN102059451A
• 公開（公告）日: 2011-05-18
• 發明（設計）人: 姜瀾;蔡海龍
• 申請（專利權）人: 北京理工大學
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00;B23K26/04;G02B27/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.納飛秒雙激光復合加工系統，其特征在于：包括飛秒激光器、納秒激光器、同步控制電路、照明光源、半透半反鏡、第一二向色鏡、第二二向色鏡、聚焦透鏡和CCD圖像探測器；

上述各部分之間的連接關系為：飛秒激光器和納秒激光器分別通過信號控制線與同步控制電路相連；照明光源位于半透半反鏡的一側，另一側為第二二向色鏡、第一二向色鏡和聚焦透鏡依次同軸放置，并與照明光源位于一條直線上；CCD圖像探測器位于半透半反鏡的反射光路末端，該反射光路軸線與第一二向色鏡、第二二向色鏡、聚焦透鏡的軸線垂直。

2.根據權利要求1所述的納飛秒雙激光復合加工系統，其特征在于：所述的同步控制電路用于控制飛秒激光器和納秒激光器的激光脈沖輸出，使二者脈沖的前沿同步。

3.根據權利要求1所述的納飛秒雙激光復合加工系統，其特征在于：所述的飛秒激光器提供加工熱源，并通過產生種子自由電子瞬時局部改變加工材料的特性。

4.根據權利要求1所述的納飛秒雙激光復合加工系統，其特征在于：所述的半透半反鏡使照射的照明光分成能量相同的兩部分，一部分被半透半反鏡反射至CCD圖像探測器接收，另一部分透過半透半反鏡照亮非金屬樣品表面，從非金屬樣品表面反射的照明光又返回被半透半反鏡反射至CCD圖像探測器接收。

5.根據權利要求1所述的納飛秒雙激光復合加工系統，其特征在于：所述的第一二向色鏡和第二二向色鏡使一定波長范圍內的激光不能透射，而其他波長的激光能夠透射；其中第一二向色鏡不能透射、只能反射飛秒激光器出射的該波長的飛秒激光，同時其他波長的光能夠透射，其能量閾值大于飛秒激光的能量；第二二向色鏡不能透射、只能反射納秒激光器出射的該波長的納秒激光，同時其他波長的光能夠透射，其能量閾值大于納秒激光的能量。

6.根據權利要求1所述的納飛秒雙激光復合加工系統，其特征在于：所述的聚焦透鏡使飛秒激光束、納秒激光束和照明光光束聚焦到非金屬樣品表面，其能量閾值大于飛秒激光和納秒激光的能量。

7.根據權利要求1所述的納飛秒雙激光復合加工系統，其特征在于：所述的CCD圖像探測器接收從非金屬樣品表面反射的照明光并進行成像，從而獲得非金屬樣品表面被加工處的顯微結構圖。