[發明專利]一種激光跟蹤儀測量中環境補償的方法有效
| 申請號: | 201010535206.6 | 申請日: | 2010-11-03 |
| 公開(公告)號: | CN102003935A | 公開(公告)日: | 2011-04-06 |
| 發明(設計)人: | 李杰;吳時彬;伍凡 | 申請(專利權)人: | 中國科學院光電技術研究所 |
| 主分類號: | G01B9/00 | 分類號: | G01B9/00;G01B11/02;G01B11/26 |
| 代理公司: | 北京科迪生專利代理有限責任公司 11251 | 代理人: | 盧紀 |
| 地址: | 610209 *** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 激光 跟蹤 測量 環境 補償 方法 | ||
1.一種激光跟蹤儀測量中環境補償的方法,其特征在于實現步驟如下:
第一步,從激光跟蹤儀內置雙頻激光器的出射雙頻激光中分光出補償用激光;
第二步,將補償用激光投射至被測件上并由角錐棱鏡反射形成補償光路;
第三步,在補償光路中加入干涉元器件,使補償光路具備雙頻激光干涉測距功能;
第四步,在補償光路中加入分光器件及位置敏感探測器(PSD),使補償光路具備PSD位移測量功能;
第五步,使用雙頻激光干涉測距數據及PSD位移測量數據對激光跟蹤儀測量結果補償。
2.根據權利要求1所述的激光跟蹤儀測量中環境補償的方法,其特征在于:所述第一步中,從激光跟蹤儀內置雙頻激光器的出射雙頻激光中分光出補償用激光的方法為:在激光出射路徑上加入分光鏡,透過分光鏡的光束為激光跟蹤儀測量用激光,方向轉折的光束為補償用激光。
3.根據權利要求1所述的激光跟蹤儀測量中環境補償的方法,其特征在于:所述的第二步中,將補償用激光投射至被測件上并由角錐棱鏡反射形成補償光路的方法為:
(1)加入平面反射鏡,調整激光跟蹤儀相對被測件姿態,并旋轉平面反射鏡進行光路調整實現補償用激光投射。
(2)在確定激光投射位置后,在被測件上補償用激光光束光斑位置處調整并固定并角錐反射鏡。
4.根據權利要求1所述的激光跟蹤儀測量中環境補償的方法,其特征在于:所述的第三步中,在補償光路中加入干涉元器件,使補償光路具備雙頻激光干涉測距功能的方法為:
(1)在分光鏡后加入干涉鏡,形成光干涉;
(2)加入接收器對干涉測量光信號進行接收并轉換;
(3)加入信號處理電路,利用光接收器信號與激光器信號得出位移變化量。
5.根據權利要求1所述的激光跟蹤儀測量中環境補償的方法,其特征在于:所述的第四步中,在補償光路中加入分光及PSD,使補償光路具備PSD位移測量功能的方法為:
(1)在角錐反射鏡前添加分光鏡,光束透過部分為雙頻干涉測距所用激光,光束轉折部分為PSD位移測量所需激光。
(2)轉折光路中加入濾光片用以過濾雜散光;
(3)在濾光片后加入二維PSD,用以進行二維位移探測。
(4)加入PSD信號處理模塊對PSD測量信號處理,得出位移信號。
6.根據權利要求1所述的激光跟蹤儀測量中環境補償的方法,其特征在于:所述的第五步中,使用雙頻激光干涉測距數據及PSD位移測量數據對激光跟蹤儀測量結果補償的方法為:
(1)使用雙頻激光干涉測距結果lr對激光跟蹤儀距離測量結果lt進行直接補償,補償后長度lc為lc=lt+lr;
(2)使用PSD位移測量結果lv、lh對激光跟蹤儀角度測量結果θt、φt進行補償,其中lv為PSD的y方向位移測量結果,lh為PSD的x方向位移測量結果,θt為激光跟蹤儀測量垂直角,φt為激光跟蹤儀測量水平角,補償后垂直角θc為補償后水平角φc為
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