[發(fā)明專利]組合軸承和旋轉(zhuǎn)設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010534956.1
• 申請日: 2010-11-01
• 公開（公告）號: CN102052397A
• 公開（公告）日: 2011-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 伊東一磨;立田和行;杉浦哲郎
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: F16C19/18
• 分類號: F16C19/18;F16C19/54;F16C33/66;F16C33/58
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 劉興鵬

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及具有極好潤滑能力的高度可靠的組合軸承。本發(fā)明還涉及使用這種組合軸承的旋轉(zhuǎn)設(shè)備。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)地，用于支撐旋轉(zhuǎn)軸的組合軸承被用于旋轉(zhuǎn)設(shè)備例如真空泵中。圖8示出了組合軸承的一個示例。如圖8中所示，組合軸承500具有兩個或更多個相互直接(或在它們之間通過間隔件間接)連接到一起的滾動軸承501和503。所使用的滾動軸承的類型包括球軸承(例如徑向推力球軸承或深溝球軸承)和滾動軸承。組合軸承500的潤滑和冷卻通過從組合軸承500的外側(cè)表面提供潤滑油來進行，如圖8中箭頭a1所示(例如，參考日本公開專利申請No.1997-88947)。

但是，因為潤滑油是從滾動軸承501的外側(cè)表面上供給的，如圖8中所示，潤滑油不能平滑地供應(yīng)到滾動軸承501和503之間的內(nèi)部空間內(nèi)。所以，不能實現(xiàn)充分潤滑。另外，與潤滑油被供應(yīng)到的滾動軸承501相比，較少量的潤滑油供給到位于潤滑油被供應(yīng)的相反一側(cè)的滾動軸承503上。所以，與滾動軸承501相比，滾動軸承503可能得不到充分潤滑。為了同等潤滑滾動軸承501和滾動軸承503，從滾動軸承501和503的兩個外側(cè)表面供應(yīng)潤滑油是可能的。但是，需要兩條供給線路供給潤滑油，因而增加了結(jié)構(gòu)復(fù)雜性。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是考慮到上述缺點而研制出來的。因此，本發(fā)明的一個目的是提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)多個滾動軸承的同等和充分潤滑并且具有簡單且緊湊的結(jié)構(gòu)的高度可靠的組合軸承。本發(fā)明的另一目的是提供一種使用這種組合軸承的旋轉(zhuǎn)設(shè)備。

本發(fā)明的一個方面是提供一種組合軸承，包括：相互接觸并且設(shè)置于同一軸線上的第一滾動軸承和第二滾動軸承；和用于將潤滑油引入形成于第一滾動軸承和第二滾動軸承之間的內(nèi)部空間內(nèi)的潤滑油進口。潤滑油進口被設(shè)置于第一滾動軸承的外圈和第二滾動軸承的外圈中的至少一個上。

根據(jù)如上所述的本發(fā)明，潤滑油可以被直接供應(yīng)到相鄰的滾動軸承之間的內(nèi)部空間內(nèi)。因此，這些滾動軸承能夠用潤滑油很容易地、均勻地并且充分地潤滑。另外，能夠獲得簡單且緊湊的結(jié)構(gòu)。

在本發(fā)明的優(yōu)選方面中，潤滑油進口是形成于第二滾動軸承的外圈的側(cè)表面上的槽，且該側(cè)表面與第一滾動軸承的外圈的側(cè)表面接觸。

根據(jù)如上所述的本發(fā)明，潤滑油進口可以僅僅通過在滾動軸承的外圈的側(cè)表面上設(shè)置槽而形成。因此，能夠減少部件的數(shù)目。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)簡單并且緊湊的結(jié)構(gòu)，并且能夠降低生產(chǎn)成本。

在本發(fā)明的優(yōu)選方面中，潤滑油進口是分別形成于第一滾動軸承的外圈的側(cè)表面上和第二滾動軸承的外圈的側(cè)表面上的槽，且第一滾動軸承的側(cè)表面和第二滾動軸承的側(cè)表面相互接觸。

根據(jù)如上所述的本發(fā)明，潤滑油進口可以僅僅通過在滾動軸承的外圈的側(cè)表面上設(shè)置槽而形成。因此，能夠減少部件的數(shù)目。因此，可以實現(xiàn)簡單且緊湊的結(jié)構(gòu)，并且能夠降低生產(chǎn)成本。

本發(fā)明的另一方面提供了一種組合軸承，包括：設(shè)置于同一軸線上的第一滾動軸承和第二滾動軸承；設(shè)置于第一滾動軸承和第二滾動軸承之間的外圈間隔件和內(nèi)圈間隔件；和用于將潤滑油引入形成于第一滾動軸承和第二滾動軸承之間的內(nèi)部空間內(nèi)的潤滑油進口。該潤滑油進口被設(shè)置于外圈間隔件上。

根據(jù)如上所述的本發(fā)明，潤滑油可以被直接供應(yīng)到相鄰的滾動軸承之間的內(nèi)部空間內(nèi)。因此，這些滾動軸承能夠用潤滑油很容易地、均勻地并且充分地潤滑。另外，能夠獲得簡單且緊湊的結(jié)構(gòu)。

在本發(fā)明的優(yōu)選方面中，潤滑油進口包括形成于外圈間隔件上的槽。

根據(jù)如上所述的本發(fā)明，潤滑油進口可以僅僅通過在外圈間隔件上設(shè)置槽而容易地形成。

本發(fā)明的另一方面提供了一種旋轉(zhuǎn)設(shè)備，包括：組合軸承；和由組合軸承支撐的旋轉(zhuǎn)軸。

根據(jù)如上所述的本發(fā)明，提高了旋轉(zhuǎn)設(shè)備的耐用性和可靠性，因為旋轉(zhuǎn)設(shè)備使用了如上所述的組合軸承。

在本發(fā)明的優(yōu)選方面中，旋轉(zhuǎn)設(shè)備是真空泵。

根據(jù)如上所述的本發(fā)明，提高了真空泵的耐用性和可靠性，因為真空泵使用了如上所述的組合軸承。真空泵被廣泛用于半導(dǎo)體制造裝置。如果真空泵突然停止或在真空泵內(nèi)發(fā)生任意其他故障，可能影響半導(dǎo)體制造裝置的整體，并且可能造成嚴重損失。因此，在用于半導(dǎo)體制造裝置的真空泵內(nèi)優(yōu)選使用根據(jù)本發(fā)明的高度耐用和可靠的組合軸承。

附圖說明

圖1是示出了使用組合軸承的真空泵的示例的示意性剖視側(cè)視圖；

圖2是示出了構(gòu)成真空泵的組合軸承的主要部件的放大示意性剖視圖；

圖3是示出了組合軸承的主要部件的放大剖視圖；

圖4是圖3中的組合軸承從上面看的視圖；