[發明專利]OLED掩膜板對位方法

有效

• 申請號: 201010533284.2
• 申請日: 2010-11-05
• 公開（公告）號: CN102110787A
• 公開（公告）日: 2011-06-29
• 發明（設計）人: 高昕偉;李雄熙;車炯坤
• 申請（專利權）人: 四川虹視顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 成都虹橋專利事務所 51124
• 代理人: 楊冬

技術領域

本發明涉及一種OLED掩膜板的對位方法。

背景技術

OLED，即有機發光二極管，在OLED器件制作過程中，需要使用金屬掩膜板來達到對玻璃基板上發光像素部分區域蒸鍍有機材料的目的。隨著OLED技術的發展，OLED產品尺寸及玻璃基板尺寸都在不斷增加，這就要求蒸鍍金屬掩膜板的尺寸要不斷增大，但由于金屬掩膜板一般都很薄(一般不超過50μm)，以及OLED蒸鍍工藝要求金屬掩膜板和玻璃基板之間要有很高的對位精度(金屬掩膜板單元器件與玻璃基板的像素單元之間對位誤差在-3μm～+3μm)，因此在OLED生產過程中，往往會產生由于金屬掩膜板與玻璃基板之間對位不準導致產品不良，極大影響生產效率和生產成本。同時，在現有工藝中是將掩膜板直接焊接到主框架上，因此掩膜板與主框架之間的位置無法調整，且由于掩膜板、主框架以及玻璃基板的體積較大且較重，不便于移動，因此較難調整掩膜板相對于玻璃基板之間的相對位置，另外，即使整張掩膜板位置基本調整到位，仍然可能會有個別單元器件無法與玻璃基板上的像素單元對位準確，此時就需要將整張掩膜板進行更換，而金屬掩膜板的價格一般比較昂貴，這樣造成生產成本較高且造成很大浪費。

另外中國專利200580008820.4公開了一種通過平面電機可相對X-Y方向和旋轉方向高精度動作的載物臺裝置，該裝置設置有在基座上的刻度組件，在驅動載物臺部的底面部設有3個2維角度傳感器，由刻度組件和2維角度傳感器構成表面編碼器，并通過表面編碼器進行驅動載物臺的位置測定。通過該裝置可高精度地進行載物臺相對基座的位置測定，即可精確移動載物臺，該載物臺裝置即可作為一個2維移動機構。

中國專利200410031334.1公開了一種載物臺裝置，該裝置通過靜壓軸承襯墊支撐的移動體能在經過表面加工的石平臺上沿著X軸方向、Y軸方向滑動。該裝置也可作為一個2維移動機構。

發明內容

本發明解決的技術問題是提供一種可以方便將掩膜板上的單元器件與玻璃基板上的像素單元進行對位的OLED掩膜板對位方法。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：OLED掩膜板對位方法，包括以下步驟：

A、將整張掩膜板分割成一組子板；

B、將子板固定在子框架上；

C、將子框架并列排布在主框架上，且子框架與主框架之間設置有移動機構；

D、將玻璃基板置于主框架下方，通過移動機構驅動子框架帶動子板移動，使子板上的單元器件與子板下方的玻璃基板上的像素單元對位。

進一步的是：所述移動機構為2維移動機構。

進一步的是：所述子板數量為2～20張。

進一步的是：所述子框架為矩形，所述子板上的單元器件位于子框架的矩形框內。

進一步的是：所述主框架為矩形，所述子框架的矩形框位于主框架的矩形框內。

本發明的有益效果是：

1、通過移動機構可方便將子板上的單元器件與玻璃基板上的橡塑單元對位；

2、當某一子板上的單元器件通過移動機構移動后，子板上的某個單元器件與玻璃基板上的像素單元對位不夠準確，不能符合質量要求，則可更換該子板，即按照對位誤差重新制作一個子板取代該子板，由于其它子板無需更換，因此可節約材料，降低生產成本。

3、采用2維移動機構可以使子框架沿兩個方向移動，可進一步方便對子框架的移動，有利于將子板上單元器件與玻璃基板上的像素單元快速對位。

附圖說明

圖1為子板與子框架示意圖；

圖2為將子框架設置在主框架上的示意圖；

圖3為子板、子框架、移動機構、主板以及玻璃基板的位置關系示意圖；

圖4為絲杠機構形成的2維移動機構的示意圖。

圖中標記為：1-主框架，2、4-矩形框，3-子框架，5-單元器件，6-子板，7-移動機構，8-玻璃基板，9-滑槽，10、11-絲杠機構，12-滑塊。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式對本發明進一步說明。

如圖1至圖3所示，本發明的OLED掩膜板對位方法，包括以下步驟：

A、將整張掩膜板分割成一組子板6；

B、將子板6固定在子框架3上；

C、將子框架3并列排布在主框架1上，且子框架3與主框架1之間設置有移動機構7；

D、將玻璃基板8置于主框架1下方，通過移動機構7驅動子框架3帶動子板6移動，使子板6上的單元器件5與子板6下方的玻璃基板8上的像素單元對位。