[發明專利]光罩抬取器

有效

• 申請號: 201010531472.1
• 申請日: 2010-10-29
• 公開（公告）號: CN102466974A
• 公開（公告）日: 2012-05-23
• 發明（設計）人: 葛効松;鐘信義
• 申請（專利權）人: 家登精密工業股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F7/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 梁愛榮

1.一光罩抬取器，其特征在于包括：

一接觸部，由一連接桿、一左右相對的外定位桿及一左右相對的內定位桿所組成，該左右相對的外定位桿具有一開放端以及相對于開放端的另一端則連接于該連接桿的第一端上，而該左右相對的內定位桿配置于該對外定位桿內側，并保持一間隙，具有一開放端以及相對于開放端的另一端則連接于該連接桿的第一端上；

一滑動部，具有一前表面與相對于前表面的后表面，該前表面相鄰配置于該連接桿的第二端，一對貫穿孔配置于該滑動部的兩側邊上且該對貫穿孔由該前表面貫穿至該后表面；

一左右相對的導桿，配置于該滑動部的該對貫穿孔中，每一該導桿的第一端均與該連接桿的第二端固接，而其第二端則凸出于該滑動部的該后表面；

一左右相對的滑動軌，配置于該對內定位桿的內側邊上，該對滑動軌上具有一承接面，且該對滑動軌具有一第一端及一相對該第一端的第二端，而該第一端為一自由端，第二端為連接端；及

一抬升機構，配置于該滑動部中，其第一端與該對滑動軌的該第二端連接，而其第二端與一升降旋鈕連接。

2.如權利要求1所述的光罩抬取器，其特征在于，每一該滑動軌的長度大于該對外定位桿及該對內定位桿。

3.如權利要求1所述的光罩抬取器，其特征在于，該對內定位桿上配置有一凸出內緣。

4.如權利要求1所述的光罩抬取器，其特征在于，該對外定位桿進一步配置一定位桿旋鈕。

5.如權利要求1所述的光罩抬取器，其特征在于，該滑動部進一步配置一導桿旋鈕，且該導桿旋鈕位于該左右相對的貫穿孔上方。

6.如權利要求1所述的光罩抬取器，其特征在于，該滑動部進一步配置一導靜電插座。

7.如權利要求1所述的光罩抬取器，其特征在于，該左右相對的滑動軌的該承接面上的外側邊緣與前端進一步配置一防滑元件。

8.如權利要求1所述的光罩抬取器，其特征在于，該左右相對的外定位桿與該左右相對的內定位桿的開放端為一R角設計。

9.如權利要求1所述的光罩抬取器，其特征在于，該左右相對的滑動軌、左右相對的外定位桿及左右相對的內定位桿，其材質為耐磨的高分子材質。

10.如權利要求1所述的光罩抬取器，其特征在于，該抬升機構的結構包括：

一升降旋鈕，配置于該滑動部的該后表面；

一滑動元件，配置于該滑動部內部，具有一前端與一后端，且由該前端往上方處形成一第一坡面，且該后端與該升降旋鈕連接；及

一升降元件，配置于該滑動部內部，并配置于該滑動元件的該前端的前方，具有一前端與一后端，且由該后端往下方處形成一第二坡面，且該第二坡面疊至于該第一坡面上；

11.如權利要求10所述的光罩抬取器，其特征在于，該升降元件上方配置一彈性元件。