[發明專利]光電式微位移測量裝置無效
| 申請號: | 201010528023.1 | 申請日: | 2010-11-02 |
| 公開(公告)號: | CN101979959A | 公開(公告)日: | 2011-02-23 |
| 發明(設計)人: | 楊寧;王恒坤;韓旭東;劉長順 | 申請(專利權)人: | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號: | G01B11/02 | 分類號: | G01B11/02 |
| 代理公司: | 長春菁華專利商標代理事務所 22210 | 代理人: | 陶尊新 |
| 地址: | 130033 吉*** | 國省代碼: | 吉林;22 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 光電 式微 位移 測量 裝置 | ||
1.光電式微位移測量裝置,包括殼體(1)、主光柵固定架(2)、主軸(3)、導向軸(4)、主光柵(5)、發光組件(6)、指示光柵(7)、指示光柵固定架(8)、光電接收組件(9)、信號處理元件(10)和接觸探頭(11);其特征是,主光柵固定架(2)固定在主軸(3)上,主光柵(5)固定在主光柵固定架(2)上,指示光柵(7)固定在指示光柵固定架(8)上,所述指示光柵固定架(8)固定在與主光柵固定架(2)相對位置的殼體(1)上;所述光電接收組件(9)和信號處理元件(10)分別固定在指示光柵固定架(8)外側的殼體(1)上,發光組件(6)和導向軸(4)分別固定在主光柵固定架(2)外側的殼體(1)上;接觸探頭(11)設置在主軸(3)的底端。
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