[發明專利]一種多注行波管柵極的制造工藝

有效

• 申請號: 201010528002.X
• 申請日: 2010-11-01
• 公開（公告）號: CN101985202A
• 公開（公告）日: 2011-03-16
• 發明（設計）人: 吳華夏;江祝苗;鄭偉;張迎紅
• 申請（專利權）人: 安徽華東光電技術研究所
• 主分類號: B23P15/00
• 分類號: B23P15/00
• 代理公司: 蕪湖安匯知識產權代理有限公司 34107
• 代理人: 周光

技術領域

本發明屬于微波真空電子器件領域，特別涉及到一種多注行波管柵極的制造工藝。?

背景技術

行波管是一種利用高速電子注與微波信號互作用將電子注的動能轉化為微波能量的功率放大器件。行波管的應用范圍十分廣闊，幾乎所有的衛星通訊都使用行波管作為末級放大器。在大多數雷達系統中都要使用一只或若干只行波管作為產生高頻發射脈沖的大功率放大器。此外，在其它設備中行波管還可以用在某些大功率放大器，如正交場放大器的激勵級。行波管按慢波結構一般分為螺旋線行波管和耦合腔行波管兩大類。?

多注行波管是近年來發展起來的一種新型行波管，與單注行波管相比，其具有工作電壓低、體積小、重量輕、可靠性好等優點。它的作用原理是，在一個行波管的慢波系統里使用多個電子注同時與微波信號發生互作用。每個電子注的導流系數都不大，所以可以利用較小的聚焦磁場對這些單獨的電子注進行聚焦，但是因為電子注的數量可以做的比較多，所以總的電子注導流系數又比較大。因此，多注耦合腔行波管采用小的電壓和大的電流就能獲得優良的特性。?

多注行波管雖然具有很多明顯的優點，但其同時具有零部件加工工藝復雜、成品率低、成本高等缺點。特別是多注柵控行波管的柵極加工工藝，其復雜程度較同類的單注行波管高的多，不但要有尺寸精度的要求，還同時具有形狀和位置公差的要求，并且要求多個電子注中的每一注都能良好對中，要求柵極上每個電子注的通道對稱性好。?

發明內容

本發明的目的在于提供一種多注行波管柵極的制造工藝，解決柵極加工工藝復雜、成品率低、成本高等問題。?

為實現上述目的，本發明采用的技術方案為：?

所述的這種多注行波管柵極的制造工藝，包括以下工序：鉗工備料工序→三氯乙烯去油工序→車加工工序→三氯乙烯去油工序→酸洗工序→鉗加工工序→氫氣退火工序→鉗加工工序→車加工工序→鉗加工工序→車加工工序→鉗加工工序→三氯乙烯去油工序→化學去油工序→亮化拋光處理工序→挑選工序→檢測工序→化學去油工序→酸洗工序→氫氣退火工序→鍍錸工序→氫氣退火燒結工序→檢測工序；具體的工藝流程為：?

(1)鉗工備料工序?

在鉗工工作臺上用剪板刀切割毛坯，選取需要的零件毛坯尺寸及零件毛坯數目；?

(2)三氯乙烯去油工序?

將(1)中所得的零件毛坯用1級工業三氯乙烯，質量為0.7KG對其去油；?

(3)車加工工序?

用螺紋車床及夾具將(2)中獲得的毛坯進行車削加工，獲得需要的初始零件毛坯尺寸，磨鈍毛坯邊緣的銳邊，需準備乳化液2.0L用于車床車削時的冷卻劑；?

(4)三氯乙烯去油工序?

將經(3)處理的初始零件毛坯用1級工業三氯乙烯，質量為0.7KG去油；?

(5)酸洗工序?

將經(4)處理過的初始毛坯，先用蒸餾水清洗3～5分鐘，再用0.9L丙酮，0.06M綃棉，0.5KG硝酸，0.3KG硫酸，0.04KG工業氯化鈉分別進行清洗，每次?清洗時間為1～3分鐘，清洗時用通風柜通風，最后用干燥柜干燥；?

(6)鉗工加工工序?

將經(5)處理過的零件毛坯放在鉗工臺的固定整平夾具上固定好，用P＝300±50Kg/cm²的液壓機固定整平夾具上的毛坯；?

(7)氫氣退火工序?

將經(6)處理過的毛坯與整平夾具一起放入氫爐中退火；氫氣為體積3.4立方米，時間為3～5分鐘；氫氣體積為19.0立方米時間為3～5分鐘；?

(8)鉗加工工序?

將(7)處理后的毛坯與整平夾具一起放在鉗工工具臺，取下毛坯，檢測平面度公差；?

(9)車加工工序?

用螺紋車床及夾具將(8)中獲得的零件毛坯進行車削加工，獲得需要的二次零件毛坯加工尺寸，磨鈍毛坯邊緣的銳邊，需準備乳化液2.0L用于車床車削時的冷卻劑；?

(10)鉗工工序?

將經(9)處理過的零件毛坯安放固定到鉗工工作臺鉆孔模具上，根據需求選擇鉆頭；鉆定位孔，用賽規檢測；將定位銷插入定位孔中；鉆電子注通道孔，用賽規檢測孔徑，用花樣模板在投影儀上從兩側檢測孔的位置分布及其直徑；再按照需求鉆工藝孔，用塞規檢測孔徑；將零件毛坯從磨具上取下，用鉸刀清除所有孔內毛刺，再用金剛石膏劑從兩側擦拭零件毛坯，不可破壞厚度；再次用塞規檢測孔，如毛刺未清除干凈，再次清除孔內毛刺，再將零件毛坯放大8倍檢測是否有毛刺；?

(11)車加工工序?