[發(fā)明專利]一種使用脈沖激光法在內(nèi)腔表面鍍膜的裝置與方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010523120.1
• 申請日: 2010-10-26
• 公開（公告）號: CN102021518A
• 公開（公告）日: 2011-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙棟才;肖更竭;馬占吉;武生虎;任妮
• 申請（專利權(quán)）人: 中國航天科技集團公司第五研究院第五一○研究所
• 主分類號: C23C14/28
• 分類號: C23C14/28
• 代理公司: 北京理工大學(xué)專利中心 11120
• 代理人: 張利萍;郭德忠

1.一種使用脈沖激光法在內(nèi)腔表面鍍膜的裝置，包括激光器(14)、平面鏡(1)、凸透鏡(2)，真空室(4)、靶材(7)、水冷管(8)，其特征在于，還包括連動裝置(11)，工件架(12)，導(dǎo)軌(13)，其中導(dǎo)軌(13)與真空室(4)壁連接，工件架(12)設(shè)有可沿導(dǎo)軌(13)運動的滾輪，工件架(12)一端與連動裝置(11)相連接，通過連動裝置(11)可以帶動工件架(12)在導(dǎo)軌(13)上運動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在內(nèi)腔表面鍍膜的裝置，其特征在于連動裝置(11)設(shè)置在真空室(4)外部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的在內(nèi)腔表面鍍膜的裝置，其特征在于還包括連接在真空室(4)壁的加熱器。

4.一種采用脈沖激光法在內(nèi)腔表面鍍膜的方法，包括以下步驟：

(1)化學(xué)清洗：首先采用綢布蘸丙酮/乙醇對工件內(nèi)表面進行擦洗，直到綢布顏色不再發(fā)生明顯變化為止；或者將待鍍件置于超聲清洗裝置中，根據(jù)待鍍件的特性，用丙酮或、乙醇等其他溶液清洗；

(2)抽真空：使真空室(4)中保持真空；

(3)通過加熱器(6)加熱，以提高薄膜質(zhì)量；

(4)沉積薄膜：在脈沖激光鍍膜過程中，激光器(14)發(fā)射的激光通過平面鏡(1)反射，由凸透鏡(2)聚焦到靶面上；待鍍件(5)在連動裝置(11)的帶動下，沿真空室(4)軸向運動；靶材(7)繞自身軸(10)旋轉(zhuǎn)，當(dāng)待鍍件(5)從一端移動到另一端，完成其內(nèi)腔鍍膜過程；

(5)鍍膜過程結(jié)束，待降溫后，放氣，取下工件。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的在內(nèi)腔表面鍍膜的方法，其特征在于，在步驟(4)中，如果待鍍件(5)比較長，從一端移動到中間位置，待鍍件(5)調(diào)轉(zhuǎn)方向后完成薄膜沉積過程。