[發明專利]仿直翅目鳴蟲翅膜超微結構的聲學傳感器設計方法

無效

• 申請號: 201010517643.5
• 申請日: 2010-10-25
• 公開（公告）號: CN102036143A
• 公開（公告）日: 2011-04-27
• 發明（設計）人: 任炳忠;王寅亮;劉俠;尚利娜;劉斐;王雙維
• 申請（專利權）人: 東北師范大學
• 主分類號: H04R1/28
• 分類號: H04R1/28
• 代理公司: 長春市東師專利事務所 22202
• 代理人: 劉延軍;李榮武

1.仿直翅目鳴蟲翅膜超微結構的聲學傳感器設計方法，其特征是由下述步驟實現：

一、首先要確定相應的表面結構平滑的傳感器的設計各項指標，稱為原型傳感器.原型傳感器決定了待設計制作傳感器的基本類型、傳感器各組成部分所用材料、組成方式、表面整體結構、決定敏感元件的中心頻率、Q值調整起點、等效振動質量；

二、根據設計目標，確定傳感器敏感元件表面細微結構基本特征，即高Q值采取下凹結構，低Q值寬帶傳感器采取上凸結構；

三、根據目標Q值，由具體實施方式中13式或17式其中R_b為有下凹表面結構的所受的空氣粘滯阻力，R″＝R₀+R′，R₀為圓膜所受空氣粘滯阻力，R′是除空氣粘滯阻力以外的阻尼，Q₀為原型傳感器Q值，Q_a為表面有上凸結構的傳感器Q值，S₀為膜總面積，S_b為下凹坑體有效面積，S_a為上凸結構有效面積，τ₀為表面平滑圓膜單位面積受空氣粘滯阻力，τ_a為圓膜表面上凸結構處單位面積受空氣粘滯阻力，確定傳感器敏感元件表面細微結構面積S_b或S_a，并由此確定下凹或上凸結構具體參數，由于影響傳感器特性的因素錯綜復雜，理論設計的參數只作為基本參考；

四、去除由于新設計形成的相應傳統傳感器結構的冗余部分，制作出傳感器樣品；

五、經過反復測試、調整，最后確定設計方案。