[發(fā)明專利]仿直翅目鳴蟲(chóng)翅膜超微結(jié)構(gòu)的聲學(xué)傳感器設(shè)計(jì)方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010517643.5
• 申請(qǐng)日: 2010-10-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102036143A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-04-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 任炳忠;王寅亮;劉俠;尚利娜;劉斐;王雙維
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東北師范大學(xué)
• 主分類號(hào): H04R1/28
• 分類號(hào): H04R1/28
• 代理公司: 長(zhǎng)春市東師專利事務(wù)所 22202
• 代理人: 劉延軍;李榮武

1.仿直翅目鳴蟲(chóng)翅膜超微結(jié)構(gòu)的聲學(xué)傳感器設(shè)計(jì)方法，其特征是由下述步驟實(shí)現(xiàn)：

一、首先要確定相應(yīng)的表面結(jié)構(gòu)平滑的傳感器的設(shè)計(jì)各項(xiàng)指標(biāo)，稱為原型傳感器.原型傳感器決定了待設(shè)計(jì)制作傳感器的基本類型、傳感器各組成部分所用材料、組成方式、表面整體結(jié)構(gòu)、決定敏感元件的中心頻率、Q值調(diào)整起點(diǎn)、等效振動(dòng)質(zhì)量；

二、根據(jù)設(shè)計(jì)目標(biāo)，確定傳感器敏感元件表面細(xì)微結(jié)構(gòu)基本特征，即高Q值采取下凹結(jié)構(gòu)，低Q值寬帶傳感器采取上凸結(jié)構(gòu)；

三、根據(jù)目標(biāo)Q值，由具體實(shí)施方式中13式或17式其中R_b為有下凹表面結(jié)構(gòu)的所受的空氣粘滯阻力，R″＝R₀+R′，R₀為圓膜所受空氣粘滯阻力，R′是除空氣粘滯阻力以外的阻尼，Q₀為原型傳感器Q值，Q_a為表面有上凸結(jié)構(gòu)的傳感器Q值，S₀為膜總面積，S_b為下凹坑體有效面積，S_a為上凸結(jié)構(gòu)有效面積，τ₀為表面平滑圓膜單位面積受空氣粘滯阻力，τ_a為圓膜表面上凸結(jié)構(gòu)處單位面積受空氣粘滯阻力，確定傳感器敏感元件表面細(xì)微結(jié)構(gòu)面積S_b或S_a，并由此確定下凹或上凸結(jié)構(gòu)具體參數(shù)，由于影響傳感器特性的因素錯(cuò)綜復(fù)雜，理論設(shè)計(jì)的參數(shù)只作為基本參考；

四、去除由于新設(shè)計(jì)形成的相應(yīng)傳統(tǒng)傳感器結(jié)構(gòu)的冗余部分，制作出傳感器樣品；

五、經(jīng)過(guò)反復(fù)測(cè)試、調(diào)整，最后確定設(shè)計(jì)方案。