[發明專利]用于以干涉測量方式對物體進行振動測量的設備和方法

無效

• 申請號: 201010517465.6
• 申請日: 2010-10-19
• 公開（公告）號: CN102042866A
• 公開（公告）日: 2011-05-04
• 發明（設計）人: C·倫貝;A·德雷本施泰特;M·加特納;M·赫貝里希;A·萊昂哈特
• 申請（專利權）人: 綜合工藝有限公司
• 主分類號: G01H9/00
• 分類號: G01H9/00;G02B27/10
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 吳鵬;馬江立

1.一種用于以干涉測量方式對物體(8)進行振動測量的設備，所述設備包括用于產生原始射束的射束源(1)、用于將所述原始射束分成測量射束和基準射束(5)的第一分束器(3)、檢測器以及調焦裝置(9)，其中，所述設備實施成使得由所述物體(8)至少部分反射的測量射束(4)與基準射束(5)在所述檢測器(10)的檢測面上疊加，而所述調焦裝置(9)布置在所述測量射束的射束路徑中用以使所述測量射束聚焦到所述物體(8)的測量點(7)上，

所述設備的特征在于，

借助所述設備能夠產生波長大于1100nm的測量射束，

所述設備附加地包括像單元(12)，所述像單元用于對所述物體的圍繞所述測量點(7)的至少一個局部區域進行平面成像，

另外滿足，所述調焦裝置(9)布置在所述像單元(12)與所述物體(8)之間的射束路徑中，所述測量射束的焦點大致位于像單元(12)的焦平面內，借助所述調焦裝置(9)能使所述測量射束的焦點和所述像單元(12)的焦平面同步地移動。

2.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述設備包括第二分束器(6)，該第二分束器在測量射束的位于所述調焦裝置(9)與所述檢測器之間的射束路徑中以及在所述像單元(12)的位于所述調焦裝置(9)與所述像單元(12)之間的射束路徑中布置和設計成，使得可視范圍內的射線在所述調焦裝置(9)與所述像單元之間的強度損失小于50％，而測量射束在所述調焦裝置(9)與所述檢測器(10)的檢測面之間的強度損失小于50％；優選地，可視范圍內的射線在所述調焦裝置(9)與所述像單元之間的強度損失小于30％，而測量射束在所述調焦裝置(9)與所述檢測器(10)的檢測面之間的強度損失小于30％。

3.根據權利要求2所述的設備，其特征在于，所述第二分束器是二向色分束器，優選是使可視范圍內的射線透射的輻射強度至少達到50％而使所述測量射束(4)被反射的輻射強度至少達到50％的分束器，進一步優選是使可視范圍內的射線透射的輻射強度至少達到70％而使所述測量射束(4)被反射的輻射強度至少達到70％的分束器。

4.根據上述權利要求中任一項所述的設備，其特征在于，所述像單元(12)和/或一與所述像單元共同作用的分析處理單元(16)設計成，使得在所述物體的借助所述像單元(12)成像的局部區域(A)上能顯示出一目標記號，尤其是在所述測量點的位置處顯示一目標十字。

5.根據上述權利要求中任一項所述的設備，其特征在于，所述設備包括與所述檢測器連接的、用于放大和/或修正所述檢測器(10)的測量信號的分析處理單元(16)，以及

所述分析處理單元(16)設計成以聲學方式輸出在測量點(7)處借助所述檢測器(10)在可聽頻率范圍內或在可聽頻率范圍的子范圍內測得的物體振動。

6.根據權利要求5所述的設備，其特征在于，所述分析處理單元(16)包括電平指示器，該電平指示器用于復現所述檢測器的測量信號的強度，尤其是用于復現與物體的振幅相關的電平。

7.根據權利要求5或6所述的設備，其特征在于，所述分析處理單元(16)包括一多頻濾波器(均衡器)用于以能選擇性給定的方式減小多個頻率范圍，尤其是所述多頻濾波器包括一存儲器，所述存儲器具有多個存儲的、可供使用者選擇的濾波器參數組。

8.根據上述權利要求中任一項所述的設備，其特征在于，所述像單元(12)設計為數字攝像機，尤其是所述數字攝像機能連接至一像屏和/或像屏眼鏡以指示物體的局部區域。

9.根據上述權利要求中任一項所述的設備，其特征在于，所述設備附加地包括一望遠鏡(13)，所述望遠鏡(13)與所述設備相連接并布置成使得所述望遠鏡的視野包括所述測量點(7)，尤其是使得所述測量點(7)大致位于所述望遠鏡的視野的中央。