[發(fā)明專利]一種聚馬來酸酐薄膜的制備方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010517374.2
• 申請日: 2010-10-25
• 公開（公告）號(hào): CN101935821A
• 公開（公告）日: 2011-01-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王霞;李曉燕;廖圣云;竇仁美
• 申請（專利權(quán)）人: 上海理工大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C14/12
• 分類號(hào): C23C14/12;C23C14/38
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司 31001
• 代理人: 吳寶根

1.一種聚馬來酸酐薄膜的制備方法，其特征在于在等離子體沉積爐中加熱升華馬來酸酐單體原料，采用低溫等離子體技術(shù)，利用輝光放電把氣態(tài)馬來酸酐單體等離子化，使其產(chǎn)生活性自由基，這些活性自由基之間或自由基與單體之間發(fā)生加成聚合反應(yīng)形成聚馬來酸酐薄膜。

2.如權(quán)利要求1所述的一種聚馬來酸酐薄膜的制備方法，其特征在于所述的馬來酸酐單體原料為固態(tài)。

3.如權(quán)利要求1所述的一種聚馬來酸酐薄膜的制備方法，其特征在于包括

???以下步驟：

(1)、用稱量瓶稱取粉末狀的馬來酸酐單體原料，將此稱量瓶固定于培養(yǎng)皿的中心，再將載玻片固定于此培養(yǎng)皿中，使其均勻分散在稱量瓶的四周；

(2)、將步驟(1)所得體系置于等離子體沉積爐中，抽本底真空至2.0×10^-3?Pa后，

升溫60～150℃，調(diào)節(jié)腔室壓力0～50Pa，與5～30w的功率下，放電5～30min,?即可在載玻片上渡上一層均勻的聚馬來酸酐薄膜。

4.如權(quán)利要求3所述的一種聚馬來酸酐薄膜的制備方法，其特征在于步驟(1)中優(yōu)選用25mm×25mm的稱量瓶稱取3.0g粉末狀的馬來酸酐單體原料，將此稱量瓶固定于90mm培養(yǎng)皿的中心，再將4個(gè)1mm×25mm的載玻片固定于此培養(yǎng)皿中，使其均勻分散在稱量瓶的四周。

5.根據(jù)要求3或4所述聚馬來酸酐薄膜的制備方法，其特征在于步驟（2）中的等離子體沉積爐中自帶的加熱設(shè)備使固體馬來酸酐單體原料直接升華，并等離子化聚合沉積成薄膜。