[發(fā)明專利]高速基片對齊器設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010516708.4
• 申請日: 2006-03-29
• 公開（公告）號: CN102024735A
• 公開（公告）日: 2011-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: J·T·穆拉;M·霍塞克;T·博頓利;U·吉爾克里斯特
• 申請（專利權(quán)）人: 布魯克斯自動化公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 夏心駿

1.一種基片對齊器設(shè)備，其包括：

適合于允許基片運輸器將基片運輸?shù)綄R器設(shè)備和從對齊器設(shè)備運輸?shù)目蚣埽?/p>

帶有至少一個感測裝置的可旋轉(zhuǎn)傳感器頭，以用于檢測基片的位置確定特征，可旋轉(zhuǎn)傳感器頭通過驅(qū)動軸可移動地連接到框架，該驅(qū)動軸接合到可旋轉(zhuǎn)傳感器頭，以用于將可旋轉(zhuǎn)傳感器頭相對于框架移動；和

安裝到框架的基片支承件，以用于在由可旋轉(zhuǎn)傳感器頭檢測到位置確定特征時支承基片；

其中基片支承件具有接觸基片的外周邊緣的支承墊，且感測裝置能與位置確定特征相對于支承墊的位置無關(guān)地檢測位置確定特征。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中可旋轉(zhuǎn)傳感器頭構(gòu)造為允許基片運輸器在基片對齊期間保持在框架內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中可旋轉(zhuǎn)傳感器頭包括基片安放墊。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其中基片安放墊定位為接觸基片的邊緣。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中該至少一個感測裝置包括第一感測裝置和第二感測裝置，第一感測裝置與第二感測裝置位于傳感器頭的相對側(cè)上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其中第一感測裝置和第二感測裝置包括反射光學(xué)傳感器。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其中第一感測裝置和第二感測裝置包括穿透束光學(xué)傳感器，所述的穿透束光學(xué)傳感器每個具有發(fā)射器和接收器。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中基片支承件可移動地安裝到框架且能相對于可旋轉(zhuǎn)傳感器頭沿運動軸線移動，該運動軸線大體上與可旋轉(zhuǎn)傳感器頭的旋轉(zhuǎn)軸線重合。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其中支承墊大體上是透明的。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中基片支承件可移動地安裝到旋轉(zhuǎn)框架，使得基片支承件可相對于框架繞與可旋轉(zhuǎn)傳感器頭共同的旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的設(shè)備，其中基片支承件限定了用于在設(shè)備內(nèi)側(cè)緩沖基片的基片緩沖器。