[發(fā)明專利]碳化物復合相變存儲材料及制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010515116.0 | 申請日： | 2010-10-21 |
| 公開（公告）號： | CN102453823A | 公開（公告）日： | 2012-05-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 吳良才;朱敏;宋志棠 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 |
| 主分類號： | C22C32/00 | 分類號： | C22C32/00;C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所 31219 | 代理人： | 李儀萍 |
| 地址： | 200050 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 碳化物 復合 相變 存儲 材料 制備 方法 | ||
1.一種碳化物復合相變存儲材料，其特征在于：由碳化物和至少一種相變材料復合而成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種碳化物復合相變存儲材料，其特征在于：所述碳化物將相變材料隔離成納米量級區(qū)域，使相變材料顆粒生長受到束縛。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種碳化物復合相變存儲材料，其特征在于：所述的相變材料為硫系化合物。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種碳化物復合相變存儲材料，其特征在于：所述的相變材料為鍺銻合金、銻碲合金或鍺銻合金。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種碳化物復合相變存儲材料，其特征在于：所述的碳化物為碳化四硼、二碳化三鉻、碳化鉿、碳化二鉬、碳化鈮、碳化硅、碳化鉭、碳化鈦、碳化鎢、碳化二鎢、碳化釩、碳化鋯中的一種或多種。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種碳化物復合相變存儲材料，其特征在于：所述碳化物在碳化物復合相變存儲材料中的摩爾百分比含量為5％-50％。
7.一種碳化物復合相變存儲材料的制備方法，其特征在于：采用硫系化合物靶與碳化物靶共濺射形成碳化物復合相變存儲材料。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述一種碳化物復合相變存儲材料，其特征在于：濺射體為氬氣，本底真空小于10-4Pa，濺射氣壓為0.21Pa～0.22pa，相變材料采用直流或射頻濺射電源，碳化物采用射頻濺射電源。
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