[發明專利]一種薄膜式熱釋電紅外傳感器無效
| 申請號： | 201010505981.7 | 申請日： | 2010-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN102023058A | 公開（公告）日： | 2011-04-20 |
| 發明（設計）人： | 王宏臣 | 申請（專利權）人： | 煙臺睿創微納技術有限公司 |
| 主分類號： | G01J5/10 | 分類號： | G01J5/10 |
| 代理公司： | 北京輕創知識產權代理有限公司 11212 | 代理人： | 楊立 |
| 地址： | 264006 山東省煙臺經濟技術*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 薄膜 式熱釋電 紅外傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種薄膜式熱釋電紅外傳感器，包括襯底、支撐層和光敏傳感層，其特征在于，所述支撐層和光敏傳感層之間依次設有絕熱層和薄膜層，所述薄膜層為2n元結構，所述光敏傳感層包括依次鋪設的鈍化層和紅外吸收層。
2.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，n為自然數，并且n大于或等于2。
3.根據權利要求1至2任意項所述的傳感器，其特征在于，所述薄膜層包括依次鋪設的熱釋電薄膜層和分別設在熱釋電薄膜層上下的上電極薄膜層、下電極薄膜層。
4.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述絕熱層為多孔結構。
5.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述的紅外吸收層采用黑金薄膜制成。
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