[發明專利]曝光裝置、曝光方法及組件制造方法

有效

• 申請號: 201010505732.8
• 申請日: 2007-02-21
• 公開（公告）號: CN101980084A
• 公開（公告）日: 2011-02-23
• 發明（設計）人: 柴崎祐一
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00;G03F7/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 吳麗麗

1.一種用能量束使保持在移動體的物體曝光的曝光裝置，所述移動體可在規定平面內彼此正交的第1及第2方向移動，所述曝光裝置的特征在于具備：

標記檢測系統，具有在上述第2方向位置不同的多個檢測區域；以及

基準構件，形成有可由上述標記檢測系統同時檢測的多個基準標記，且可夾著上述能量束的照射位置，在上述第1方向上從上述多個檢測區域的相反側移動至上述多個檢測區域的位置。

2.根據權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于：

上述基準構件，安裝在上述移動體或能與上述移動體獨立地移動的另一移動體。

3.根據權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于還具備：

具有測量上述移動體的位置信息的編碼器的測量裝置；

在上述能量束對上述物體的曝光動作中、以及上述標記檢測系統對上述標記的檢測動作中，通過上述編碼器測量上述移動體的位置信息。

4.根據權利要求3所述的曝光裝置，其特征在于：

在上述移動體的移動中，用于上述測量的上述編碼器的多個讀取頭，其至少一個切換至另一讀取頭。

5.一種用能量束使保持在移動體的物體曝光的曝光裝置，所述移動體可在規定平面內彼此正交的第1及第2方向移動，所述曝光裝置的特征在于具備：

多個標記檢測系統，其包含：在上述第1方向上與射出上述能量束的光學系統分離設置、檢測區域為固定的第1標記檢測系統，以及檢測區域的位置在至少上述第2方向可調整的至少一個第2標記檢測系統，其檢測區域的位置在上述第2方向上不同；

測量裝置，測量上述移動體的位置信息；以及

控制裝置，以上述第1、第2標記檢測系統分別檢測上述移動體上或保持于上述移動體的物體上的特定標記，根據上述第1及第2標記檢測系統的檢測結果與其檢測時的上述測量裝置的測量信息，執行求出上述第1、第2標記檢測系統的相對位置的第1測量動作。

6.根據權利要求5所述的曝光裝置，其特征在于還具備：

基準構件，形成有上述多個標記檢測系統所檢測的多個基準標記；

上述控制裝置，以上述第1、第2標記檢測系統分別檢測上述基準構件的不同基準標記，并根據該檢測結果，執行求出上述第1、第2標記檢測系統的相對位置的第2測量動作。

7.根據權利要求6所述的曝光裝置，其特征在于：

在上述第2測量動作中，上述不同基準標記，通過上述第1、第2標記檢測系統同時檢測。

8.根據權利要求7所述的曝光裝置，其特征在于：

上述基準構件，設于上述移動體或能與上述移動體獨立地移動的另一移動體；

上述控制裝置，在上述第2測量動作中，使上述基準構件移動，通過上述第1標記檢測系統檢測上述基準構件上的既定基準標記，并根據其檢測結果調整上述基準構件的位置，在該調整后的狀態下通過上述第2標記檢測系統檢測位于其視野內的上述基準標記。

9.根據權利要求6所述的曝光裝置，其特征在于：

上述控制裝置，是以較上述第1測量動作短的時距執行上述第2測量動作。

10.根據權利要求9所述的曝光裝置，其特征在于：

每在以批量單位連續處理上述物體時，上述控制裝置，于各批量前頭執行上述第1測量動作，并于每處理規定數目的物體時執行上述第2測量動作。

11.根據權利要求5所述的曝光裝置，其特征在于：

上述測量裝置，具有在上述能量束對上述物體的曝光動作中、以及上述標記檢測系統對上述標記的檢測動作中，測量上述移動體的位置信息的編碼器。

12.根據權利要求3或11所述的曝光裝置，其特征在于：

在上述移動體的移動中，用于上述測量的上述編碼器的多個讀取頭，其至少一個切換至另一讀取頭。

13.根據權利要求3或11所述的曝光裝置，其特征在于：

上述編碼器具有讀取頭部與周期性地排列格子的格子部；

上述曝光裝置還具備：

修正裝置，修正因上述格子部產生的上述編碼器的測量誤差。

14.根據權利要求13所述的曝光裝置，其特征在于：

上述修正裝置，修正因上述格子部的變形產生的測量誤差。