[發明專利]噴淋裝置以及藥水槽

有效

• 申請號: 201010504138.7
• 申請日: 2010-09-30
• 公開（公告）號: CN102036485A
• 公開（公告）日: 2011-04-27
• 發明（設計）人: 陳文德;陳臣
• 申請（專利權）人: 北大方正集團有限公司;珠海方正科技多層電路板有限公司富山分公司
• 主分類號: H05K3/00
• 分類號: H05K3/00;B08B3/02
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 李娟

1.一種噴淋裝置，包括：

至少一個噴淋管，其設置在藥水槽內并且與輸送清洗液的軟管連接，每個噴淋管上設置有至少一個噴嘴；

控制裝置，其連接所述噴淋管并用于控制所述噴淋管在清洗所述藥水槽內壁時繞噴淋管軸線進行旋轉。

2.如權利要求1所述的噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋管和所述噴嘴具有以下特征中的至少一種：

所述噴淋管的長度是與其貼近的藥水槽內壁的長度的90-100％；

所述噴嘴從所述噴淋管的一端至另一端均勻分布；

所述噴嘴在所述噴淋管上在能夠清洗到死區的部位比在其它部位更密地分布；

當所述噴淋管上設置有多個噴嘴時，所述噴淋管上的噴嘴之間間隔20-50厘米；

所述噴嘴的長度為2-15厘米；

所述噴嘴的噴口的形狀為圓形，直徑為1-3厘米；

所述噴嘴的噴口的形狀為矩形，且優選地所述矩形的長為1-3厘米；

所述噴嘴的噴口的發散角度為30-60度；

所述噴淋管沿恒定方向連續旋轉或者在預定角度范圍內往復旋轉。

3.如權利要求1或2所述的噴淋裝置，其特征在于，所述軟管還連接用于將清洗液加壓送入噴淋管的泵。

4.如前述權利要求中任一項所述的噴淋裝置，其特征在于，在所述軟管中設置有用于控制清洗液流速的流速控制閥、和/或用于控制清洗液壓力的壓力控制閥。

5.如前述權利要求中任一項所述的噴淋裝置，其特征在于，

所述控制裝置控制所述噴淋管在所述噴嘴能夠清洗到死區的范圍更慢地旋轉，且優選地通過凸輪實現所述控制；和/或

所述控制裝置控制流速控制閥在所述噴嘴能夠清洗到死區的范圍使所述清洗液以更高流速流動和噴出；和/或

所述控制裝置控制壓力控制閥在所述噴嘴能夠清洗到死區的范圍使所述清洗液以更高壓力流動和噴出。

6.如前述權利要求中任一項所述的噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋管包括至少兩組，且所述至少兩組噴淋管能夠互相清洗。

7.如前述權利要求中任一項所述的噴淋裝置，其特征在于，還包括：傳感器，用于定時地或實時地檢測藥水槽內壁的清潔度、特別是檢測所述死區的清潔度，并將檢測結果發送到所述控制裝置；

所述控制裝置還用于：根據所述檢測結果控制所述噴淋管在清洗所述藥水槽內壁時繞噴淋管軸線進行旋轉。

8.如前述權利要求中任一項所述的噴淋裝置，其特征在于，所述控制裝置還用于：定時控制所述噴淋裝置開啟和關閉；或者根據從傳感器發來的藥水槽內壁的清潔度檢測結果而實時控制所述噴淋裝置的開啟和關閉。

9.如前述權利要求中任一項所述的噴淋裝置，其特征在于，

所述控制裝置包括：第一控制桿、與所述噴淋管數量相同的搖擺桿和轉子，所述第一控制桿通過所述搖擺桿連接所述轉子，所述轉子均在所述第一控制桿的控制下繞所述轉子的中心轉動，所述轉子的中心固定連接相應的噴淋管，所述噴淋管與所述轉子的旋轉面垂直；

或者

所述控制裝置包括：第二控制桿、搖擺桿、轉子和轉軸，所述第二控制桿與所述至少一個噴淋管垂直并接觸連接，并且所述第二控制桿通過所述搖擺桿連接所述轉子，所述轉軸垂直于所述轉子的旋轉面并固定連接在所述轉子的中心。

10.如權利要求9所述的噴淋裝置，其特征在于，所述第二控制桿與所述至少一個噴淋管接觸連接具體為：所述第二控制桿與所述至少一個噴淋管通過齒輪嚙合。

11.如權利要求9或10所述的噴淋裝置，其特征在于，所述控制裝置還用于控制所述第一控制桿的擺動速度或轉軸的轉動速度。

12.一種藥水槽，其特征在于，包括如權利要求1-11任一所述的噴淋裝置，所述藥水槽優選地為：顯影槽、蝕刻槽或者去膜槽。