[發明專利]表面形狀的檢查方法及檢查裝置

無效

• 申請號: 201010502721.4
• 申請日: 2010-09-30
• 公開（公告）號: CN102445168A
• 公開（公告）日: 2012-05-09
• 發明（設計）人: 尊田嘉之;大音仁昭;加藤宗壽;城山厚
• 申請（專利權）人: 旭硝子株式會社
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30;G01B11/24
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 高培培;車文

1.一種表面形狀的檢查方法，向透明板狀體照射條紋圖案，拍攝由該透明板狀體的表面形成的條紋圖案的反射圖像，基于通過拍攝得到的圖像信號檢查所述透明板狀體的表面形狀，其特征在于，包括：

條紋圖案決定工序，決定具有明暗圖案的條紋圖案，所述明暗圖案以由所述透明板狀體的表面形成的反射圖像和由所述透明板狀體的背面形成的反射圖像在通過所述拍攝得到的圖像信號中分離的方式設定；及

表面形狀檢查工序，只使用通過拍攝得到的圖像信號所包含的反射圖像中的、由所述透明板狀體的表面形成的所述條紋圖案的反射圖像，檢查所述透明板狀體的表面形狀。

2.如權利要求1所述的表面形狀的檢查方法，其中，

對作為透明板狀體的用于平面顯示面板的玻璃基板進行檢查。

3.如權利要求1所述的表面形狀的檢查方法，其中，

對作為透明板狀體的用于汽車玻璃的原板進行檢查。

4.如權利要求1、2或3所述的表面形狀的檢查方法，其中，

在表面形狀檢查工序中，得到反射圖像相對于透明板狀體的表面為理想平面時的理想反射圖像的偏移量，使用所述偏移量、條紋圖案的位置信息及拍攝單元的透鏡中心位置信息來求出所述透明板狀體的表面形狀的傾斜度，將所述透明板狀體的表面大致平坦作為約束條件，對所述表面形狀的傾斜度進行積分以求出所述透明板狀體的表面形狀。

5.一種表面形狀的檢查裝置，具備拍攝單元，該拍攝單元拍攝向透明板狀體照射的條紋圖案的由該透明板狀體的表面形成的反射圖像，基于通過所述拍攝單元的拍攝得到的圖像信號檢查所述透明板狀體的表面形狀，其特征在于，

設置具有明暗圖案的條紋圖案，所述明暗圖案以由所述透明板狀體的表面形成的反射圖像和由所述透明板狀體的背面形成的反射圖像在通過所述拍攝單元得到的圖像信號中分離的方式設定，

所述表面形狀的檢查裝置具備：

分離單元，從通過所述拍攝單元得到的圖像信號中分離出由所述透明板狀體的表面形成的所述條紋圖案的反射圖像；及

運算單元，使用所述分離單元分離出的所述反射圖像來檢查所述透明板狀體的表面形狀。

6.如權利要求5所述的表面形狀的檢查裝置，其中，

運算單元包括：偏移量計算單元，算出反射圖像相對于透明板狀體的表面為理想平面時的理想反射圖像的偏移量；傾斜度計算單元，使用所述偏移量計算單元算出的偏移量、條紋圖案的位置信息及拍攝單元的透鏡中心位置信息來算出所述透明板狀體的表面形狀的傾斜度；及表面形狀決定單元，將所述透明板狀體的表面大致平坦作為約束條件，對所述傾斜度計算單元算出的表面形狀的傾斜度進行積分以求出所述透明板狀體的表面形狀。