[發(fā)明專利]一種直拉單晶隔熱裝料方法及其裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010301244.5
• 申請(qǐng)日: 2010-02-04
• 公開（公告）號(hào): CN101760773A
• 公開（公告）日: 2010-06-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周銳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安隆基硅材料股份有限公司;西安隆基硅技術(shù)有限公司;寧夏隆基硅材料有限公司;西安矽美單晶硅有限公司
• 主分類號(hào): C30B15/00
• 分類號(hào): C30B15/00
• 代理公司: 西安弘理專利事務(wù)所 61214
• 代理人: 羅笛

1.一種直拉單晶隔熱裝料方法，其特征在于，該方法按照以下步驟具 體實(shí)施：

步驟1、單晶爐拆爐后，操作人員穿戴好防護(hù)用具，采用耐高溫清掃工 具，將主室爐筒(9)、主保溫筒(8)和石墨加熱器(4)等爐體及熱場(chǎng)石墨 器件上的揮發(fā)物打掃干凈；

步驟2、在主保溫筒(8)上方安放隔熱大蓋(1)，用于將熱場(chǎng)中向上揮 發(fā)的熱氣流阻隔，所述的隔熱大蓋(1)為一圓盤形狀，與主室爐筒(9)的 內(nèi)壁接觸放置，隔熱大蓋(1)的外徑與主室爐筒(9)的內(nèi)徑相適應(yīng)，隔熱 大蓋(1)的中心挖有與石墨坩堝(7)外徑相等的圓孔(10)；

步驟3、將石墨坩堝(7)及石英坩堝(6)依次放置于石墨托桿(5)上， 然后在石英坩堝(6)中裝入單晶原料；

步驟4、裝料完畢后，在石英坩堝(6)上蓋好護(hù)料蓋(2)，所述的護(hù)料 蓋(2)沿圓周設(shè)置有護(hù)沿(11)，護(hù)沿(11)的內(nèi)徑大于石英坩堝(6)的 外徑，護(hù)沿(11)的外徑小于石墨坩堝(7)的外徑；

步驟5、再將隔熱大蓋(1)取出，去掉護(hù)料蓋(2)，合爐，開始下一爐 次的單晶拉制。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述隔熱大蓋(1)選用 固態(tài)石墨氈、硅酸鋁陶瓷纖維制品或硅酸鈣制品。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述隔熱大蓋(1)的外 徑為500mm-1500mm，內(nèi)徑為200mm-1200mm，厚度為10mm-100mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述護(hù)料蓋(2)上表面 設(shè)置有兩個(gè)把手(3)。