[發明專利]電熱驅動的面內雙穩態射頻微開關

無效

• 申請號: 201010300231.6
• 申請日: 2010-01-13
• 公開（公告）號: CN101719575A
• 公開（公告）日: 2010-06-02
• 發明（設計）人: 汪紅;毛勝平;吳義伯;湯俊;丁桂甫
• 申請（專利權）人: 上海交通大學
• 主分類號: H01P1/10
• 分類號: H01P1/10;B81B7/02
• 代理公司: 上海交達專利事務所 31201
• 代理人: 王錫麟;王桂忠

1.一種電熱驅動的面內雙穩態射頻微開關，包括：電熱驅動機構、機械閉 鎖機構和信號轉換機構，其特征在于：電熱驅動機構位于機械閉鎖機構的正下方， 機械閉鎖機構與信號轉換機構相連接；

所述的電熱驅動機構包括：主驅動器電極、電熱主驅動器、副驅動器電極和 電熱副驅動器，其中：主驅動器電極與電熱主驅動器相連，副驅動器電極與電熱 副驅動器相連，電熱主驅動器和電熱副驅動器的末端分別正對機械閉鎖機構相對 設置并不相接觸；

所述的信號轉換機構包括：柔性桿、接觸頭和信號線，其中：柔性桿的一端 與機械閉鎖機構相連，另一端與接觸頭相連，接觸頭與信號線相對設置且不相接 觸；

所述的機械閉鎖機構包括：兩個固定錨、主懸臂梁、副懸臂梁、主閉鎖觸頭 和副閉鎖觸頭，其中：主懸臂梁的外端和副懸臂梁的外端分別與兩個固定錨相連 接，主懸臂梁的內端和副懸臂梁的內端分別與主閉鎖觸頭和副閉鎖觸頭相連接， 主閉鎖觸頭與信號轉換機構相連，主閉鎖觸頭與副閉鎖觸頭相對設置且不相接 觸；

所述的主閉鎖觸頭與副閉鎖觸頭的橫截面為形狀相同的弧形結構，其縱向最 短間隔為2～5微米，橫向重疊距離為5～10微米，弧形部分的寬度從50微米漸變 為10微米。

2.根據權利要求1所述的電熱驅動的面內雙穩態射頻微開關，其特征是，所 述的電熱主驅動器和電熱副驅動器均為多個單晶硅V型電熱驅動器的陣列組合。

3.根據權利要求1所述的電熱驅動的面內雙穩態射頻微開關，其特征是， 所述的主懸臂梁和副懸臂梁的外端均有一段S型彈簧，S型彈簧的寬度為50微 米。

4.根據權利要求1所述的電熱驅動的面內雙穩態射頻微開關，其特征是， 所述的主懸臂梁和副懸臂梁的剛性懸臂梁部分寬度是漸變的，寬度從200微米漸 變為50微米。

5.根據權利要求1所述的電熱驅動的面內雙穩態射頻微開關，其特征是， 所述的主懸臂梁和副懸臂梁的剛性懸臂梁部分在橫向都存在一個傾角，這個傾角 為10～30度。

6.根據權利要求1所述的電熱驅動的面內雙穩態射頻微開關，其特征是， 所述的柔性桿為具有彈簧結構的金屬條，該柔性桿的寬度小于主懸臂梁以及副懸 臂梁的寬度，寬度為10～30微米。