[發明專利]一種加熱臺無效
| 申請號: | 201010299403.2 | 申請日: | 2010-10-08 |
| 公開(公告)號: | CN101956162A | 公開(公告)日: | 2011-01-26 |
| 發明(設計)人: | 曹國忠;劉宏勛;檀潤華;張承業;張淑敏;梁濤;李青海 | 申請(專利權)人: | 河北工業大學 |
| 主分類號: | C23C14/22 | 分類號: | C23C14/22;C23C16/46 |
| 代理公司: | 天津翰林知識產權代理事務所(普通合伙) 12210 | 代理人: | 李濟群 |
| 地址: | 300401 天*** | 國省代碼: | 天津;12 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 加熱 | ||
技術領域
本發明涉及太陽能電池生產設備,具體為一種用于CdTe薄膜太陽能電池生產線的加熱臺。
技術背景
在薄膜光伏電池技術中,以碲化鎘為基體的薄膜光伏器件,被公認為是高效、穩定、廉價的薄膜光伏器件材料。在室溫下,碲化鎘多晶薄膜太陽電池轉換效率理論值為27%。從碲化鎘多晶薄膜太陽電池目前已達到的轉換效率、可靠性和價格因素等方面看,它在地面太陽光伏轉換應用方面發展的前景極為廣闊。
在薄膜光伏電池的加工過程中,目前采用的加熱方式主要有金屬絲加熱,遠紅外加熱和高頻感應加熱三種方式。但加熱玻璃基片的常規方法都是非連續式的,影響了薄膜沉積工藝的連續性,效率低,自動化程度差,勞動強度大。
發明內容
針對現有技術不足,本發明擬解決的技術問題是,提供一種加熱臺,該加熱臺用于CdTe薄膜太陽能電池生產線,可連續地將玻璃基片在真空環境下加熱到沉積所需要的溫度,生產效率高,且結構簡單,使用方便。
本發明解決所述加熱臺技術問題的技術方案是:設計一種加熱臺,一種加熱臺,用于CdTe薄膜太陽能電池生產線的玻璃基片加熱,其特征在于該加熱臺采用垂直截面為半圓形的碳鋼鋼管上、下對接臥式密封腔體結構,上腔體和下腔體的外側分別設置有上冷卻水管道和下冷卻水管道;所述上腔體包括垂直截面為半圓形的上隔熱屏,上隔熱屏的內側固定有上加熱元件支架,上加熱元件支架上安裝有可拆卸的上加熱元件;所述下腔體包括垂直固裝在下腔體內側的軸承支架,且軸承支架的上端高于下腔體的水平上表面,軸承支架上通過軸承支撐水平安裝有輸送裝置,垂直截面為半圓形的下隔熱屏通過聯接裝置與所述的上隔熱屏對接安裝,下腔體內側最低處還安裝有下隔熱屏托架,下隔熱屏托架的弧形托面與下隔熱屏的弧形底面吻接,下隔熱屏的內側也固定有下加熱元件支架,下加熱元件支架上安裝有可拆卸的下加熱元件;所述輸送裝置主要包括水平依次安裝在軸承支架上的一系列輸送輥,輸送輥包括主動輸送輥和從動輸送輥,主動輸送輥均布在從動輸送輥中,主動輸送輥與外接傳動機構連接。
與現有技術相比,本發明加熱臺可以與CdTe薄膜太陽能電池生產線配套使用,實現玻璃基片的連續化生產,且具有腔室真空性能好,加熱效率高,溫度均勻性好,結構簡單,制造成本低,拆卸方便等特點。在申請人檢索的范圍內,未見有相同結構的加熱臺。
附圖說明
圖1是本發明所述加熱臺一種實施例的整體結構示意圖;
圖2是本發明所述加熱臺一種實施例的上腔體俯視結構示意圖;
圖3是本發明所述加熱臺一種實施例的下腔體主視結構示意圖;
圖4是本發明所述加熱臺一種實施例的下腔體俯視結構示意圖;
圖5是本發明所述加熱臺一種實施例的下隔熱屏俯視結構示意圖;
圖6是本發明所述加熱臺一種實施例的金屬板與密封墊結構示意圖。
具體實施方式
下面結合實施例及其附圖進一步敘述本發明:
本發明設計的加熱臺(參見圖1-6),用于CdTe薄膜太陽能電池生產線的玻璃基片加熱,其特征在于該加熱臺采用垂直截面為半圓形的碳鋼鋼管上、下對接臥式密封腔體結構,上腔體1和下腔體2的外側分別設置有上冷卻水管道11和下冷卻水管道21;所述上腔體1包括垂直截面為半圓形的上隔熱屏31、上隔熱屏31的內側固定有上加熱元件支架33,上加熱元件支架33上安裝有可拆卸的上加熱元件34;所述下腔體2主要包括軸承支架22、下隔熱屏托架23和下加熱元件支架37,軸承支架22垂直固裝在下腔體2的內側,且軸承支架22的上端高于下腔體2的水平上表面,軸承支架22上通過軸承支撐水平安裝有輸送裝置4,垂直截面為半圓形的下隔熱屏35通過聯接裝置32與所述的上隔熱屏31對接安裝;下隔熱屏托架23安裝在下腔體2內側的最低處,下隔熱屏托架23的弧形托面與下隔熱屏35的弧形底面吻接,下隔熱屏35的內側也固定有下加熱元件支架37,下加熱元件支架37上安裝有可拆卸的下加熱元件38;所述輸送裝置4主要包括水平依次安裝在軸承支架22上的一系列輸送輥,輸送輥包括主動輸送輥41和從動輸送輥42,主動輸送輥41均布在從動輸送輥42中,主動輸送輥41與外接傳動機構連接
本發明加熱臺所述的半圓形碳鋼鋼管為船舶用碳鋼無縫鋼管,采用上、下對接臥式密封腔體結構,拆卸和維修比較方便,成本較低。
本發明加熱臺所述上加熱元件34和下加熱元件38均采用石墨板,工作壽命長,石墨板對稱布置于工作面(玻璃基片)的上、下方。本發明中采用的真空環境下輻射加熱設計,效率較高,加熱元件采用板式,輻射面積大,效率高,同時保證了加熱的均勻性。
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