[發(fā)明專利]固態(tài)成像裝置及其制造方法、電子裝置和透鏡陣列

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010297713.0
• 申請(qǐng)日: 2010-09-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102034842A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-04-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 荻野明子;大塚洋一
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 索尼公司
• 主分類號(hào): H01L27/146
• 分類號(hào): H01L27/146;H01L27/148;G02B3/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 彭久云

1.一種固態(tài)成像裝置，包括：

多個(gè)光電轉(zhuǎn)換單元，設(shè)置為排列在基板的成像面的第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向的每一個(gè)上，且構(gòu)造為在光接收表面接收入射光以產(chǎn)生信號(hào)電荷；

多個(gè)微透鏡，在所述多個(gè)光電轉(zhuǎn)換單元的每個(gè)光接收表面上方設(shè)置在所述第一方向和所述第二方向的每一個(gè)上，且構(gòu)造為將所述入射光聚集到所述光接收表面上；以及

傳輸單元，為所述多個(gè)光電轉(zhuǎn)換單元的排列在所述第二方向上的每列所述多個(gè)光電轉(zhuǎn)換單元而提供，其中構(gòu)造為在所述第二方向上傳輸所述光電轉(zhuǎn)換單元產(chǎn)生的信號(hào)電荷的傳輸通道區(qū)域形成在所述成像面上；

其中所述多個(gè)微透鏡設(shè)置為在所述第一方向和所述第二方向的每個(gè)上彼此相鄰排列，且所述多個(gè)微透鏡在所述成像面處的平面形狀是包括由在所述第一方向上延伸的邊和在所述第二方向上延伸的邊劃分的部分的形狀，且；

并且其中所述多個(gè)微透鏡形成為使得在所述成像面的相對(duì)于所述第一方向和所述第二方向傾斜的第三方向上排列的微透鏡之間的凹槽的深度深于所述第一方向上排列的微透鏡之間的凹槽的深度，并且所述第三方向上的透鏡表面的曲率也高于所述第一方向上的透鏡表面的曲率。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固態(tài)成像裝置，其中所述多個(gè)微透鏡形成為使得所述第二方向上排列的微透鏡之間的凹槽的深度深于所述第一方向上排列的微透鏡之間的凹槽的深度，并且所述第二方向上的透鏡表面的曲率也形成為高于所述第一方向上的透鏡表面的曲率。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的固態(tài)成像裝置，其中，對(duì)于所述多個(gè)微透鏡，所述第一方向上排列的微透鏡之間的凹槽的深度D1和在所述第三方向上相鄰排列的微透鏡之間的凹槽的深度D3具有關(guān)系D1∶D3＝1∶3至1∶5。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的固態(tài)成像裝置，其中，對(duì)于所述多個(gè)微透鏡，所述第一方向上排列的微透鏡之間的凹槽的深度D1具有關(guān)系D1≤150nm。

5.一種固態(tài)成像裝置，包括：

多個(gè)光電轉(zhuǎn)換單元，設(shè)置為排列在基板的成像面的第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向的每一個(gè)上，且構(gòu)造為在光接收表面接收入射光以產(chǎn)生信號(hào)電荷；

微透鏡，設(shè)置在所述多個(gè)光電轉(zhuǎn)換單元的每個(gè)光接收表面上方，且構(gòu)造為將所述入射光聚集到所述光接收表面上；以及

傳輸單元，為所述多個(gè)光電轉(zhuǎn)換單元的在所述第二方向上排列的每列所述多個(gè)光電轉(zhuǎn)換單元而提供，其中構(gòu)造為在所述第二方向上傳輸該光電轉(zhuǎn)換單元產(chǎn)生的信號(hào)電荷的傳輸通道區(qū)域形成在所述成像面上；

其中所述微透鏡形成為使得所述入射光入射的所述透鏡表面在所述第二方向上成為彎曲表面，且在所述第一方向上成為平坦表面。

6.一種固態(tài)成像裝置，包括：

多個(gè)光電轉(zhuǎn)換單元，設(shè)置為排列在基板的成像面的第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向的每一個(gè)上，且構(gòu)造為在光接收表面接收入射光以產(chǎn)生信號(hào)電荷；

多個(gè)微透鏡，在所述多個(gè)光電轉(zhuǎn)換單元的每個(gè)光接收表面上方設(shè)置所述第一方向和所述第二方向的每一個(gè)上，且構(gòu)造為將所述入射光聚集到所述光接收表面上；以及

像素晶體管，提供在所述成像面的所述多個(gè)光電轉(zhuǎn)換單元之間，且構(gòu)造為讀出且輸出所述多個(gè)光電轉(zhuǎn)換單元產(chǎn)生的信號(hào)電荷；

其中所述多個(gè)微透鏡設(shè)置為在所述第一方向和所述第二方向的每一個(gè)上彼此相鄰排列，且對(duì)于所述多個(gè)微透鏡，在所述成像面處的平面形狀是包括由在所述第一方向上延伸的邊和在所述第二方向上延伸的邊劃分的部分的形狀；

并且其中所述多個(gè)微透鏡形成為使得在所述成像面處與排列有所述多個(gè)光電轉(zhuǎn)換單元而沒(méi)有在所述多個(gè)光電轉(zhuǎn)換單元之間引入所述像素晶體管的部分相對(duì)應(yīng)的微透鏡之間的凹槽的深度深于其它部分的微透鏡之間的凹槽的深度，并且在排列有所述多個(gè)光電轉(zhuǎn)換單元而不在其間引入所述多個(gè)像素晶體管的部分側(cè)的透鏡表面的曲率高于其它部分的透鏡表面的曲率。