[發明專利]一種紅外橋式測溫傳感器

無效

• 申請號: 201010297404.3
• 申請日: 2010-09-30
• 公開（公告）號: CN101995297A
• 公開（公告）日: 2011-03-30
• 發明（設計）人: 王宏臣
• 申請（專利權）人: 煙臺睿創微納技術有限公司
• 主分類號: G01J5/24
• 分類號: G01J5/24;G01J5/22
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 楊立

1.一種紅外橋式測溫傳感器，包括襯底和由四個電阻組成的電阻器電橋，其特征在于，所述電阻器電橋包括由一個光敏電阻、兩個環境參考電阻和一個焦耳參考電阻之間首尾相連構成的環狀結構，所述兩個環境參考電阻之間接電源地，所述光敏電阻與焦耳參考電阻之間接供電電源，所述光敏電阻與一個環境參考電阻之間為第一輸出端，所述焦耳參考電阻與另一個環境參考電阻之間為第二輸出端，所述襯底在安裝光敏電阻和焦耳參考電阻的位置設有凹槽。

2.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述構成電阻器電橋的四個電阻的阻值相同。

3.根據權利要求1至2任一項所述的傳感器，其特征在于，所述構成電阻器電橋的四個電阻由測溫材料構成，所述測溫材料為氧化釩。

4.根據權利要求1至3任一項所述的傳感器，其特征在于，所述光敏電阻外層鍍有黑金紅外吸收層，所述焦耳參考電阻外層鍍有金屬反射層。

5.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述光敏電阻和焦耳參考電阻分別懸浮在兩個凹槽上面，并且兩端跨接在凹槽兩端。

6.根據權利要求1或5所述的傳感器，其特征在于，所述凹槽的深度為100微米至500微米。