[發(fā)明專利]基板的研磨方法及其裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010297336.0
• 申請日: 2010-09-28
• 公開（公告）號: CN102416598A
• 公開（公告）日: 2012-04-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 渡邊逸郎;久保岳
• 申請（專利權(quán)）人: 旭硝子株式會社
• 主分類號: B24B37/04
• 分類號: B24B37/04
• 代理公司: 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 高培培;車文

1.一種基板的研磨方法，其特征在于，具有：

在鋪設(shè)有可貼合基板的膜體的膜框上貼合基板并將該膜框安裝于托架的工序、或者將鋪設(shè)有可貼合基板的膜體的膜框安裝于托架并將基板貼合在該膜框上的工序；

使安裝了該膜框的托架和研磨平臺相對接近，將貼合在所述膜體上的基板的研磨面按壓在所述研磨平臺上進(jìn)行研磨的工序；及

在基板研磨結(jié)束后從所述托架卸下所述膜框并從該膜框卸下所述基板的工序、或在基板研磨結(jié)束后從所述膜框卸下所述基板并從所述托架卸下所述膜框的工序。

2.如權(quán)利要求1所述的基板的研磨方法，其特征在于，具有：

對卸下了所述基板的所述膜框進(jìn)行清洗的工序；及

將清洗后的所述膜框送回到該膜框與所述基板的貼合位置的工序。

3.如權(quán)利要求1或2所述的基板的研磨方法，其特征在于，

向所述托架和所述膜框的膜體之間供給的加壓流體的壓力經(jīng)由該膜體而被傳遞到所述基板，由此所述基板被按壓到所述研磨平臺而進(jìn)行研磨。

4.一種基板的研磨裝置，其特征在于，具備：

在鋪設(shè)有可貼合基板的膜體的膜框上貼合基板的基板貼合臺；

將膜框安裝于托架的膜框安裝臺；

在將膜框安裝于托架后，使托架和研磨平臺相對接近，將貼合在所述膜體上的基板的研磨面按壓在所述研磨平臺上進(jìn)行研磨的研磨臺；

從托架卸下膜框的膜框拆卸臺；及

將研磨結(jié)束后的基板從膜框卸下的基板拆卸臺。

5.如權(quán)利要求4所述的基板的研磨裝置，其特征在于，具備：

對卸下了所述基板的所述膜框進(jìn)行清洗的清洗臺；及

將在清洗臺清洗后的所述膜框送回所述基板貼合臺的膜框搬運(yùn)單元。

6.如權(quán)利要求4或5所述的基板的研磨裝置，其特征在于，

向所述托架和所述膜框的膜體之間供給加壓流體的研磨用加壓流體供給單元設(shè)置于所述托架上。

7.如權(quán)利要求4、5或6中任一項所述的基板的研磨裝置，其特征在于，

所述膜框的膜體由三層結(jié)構(gòu)構(gòu)成，所述三層結(jié)構(gòu)由在所述膜體與所述托架之間保持氣密性的氣密保持層、保持該氣密保持層并具有可耐受因鋪設(shè)膜體而產(chǎn)生的張力的規(guī)定拉伸強(qiáng)度的強(qiáng)度保持層、及與所述基板貼合的平滑層構(gòu)成。

8.如權(quán)利要求7所述的基板的研磨裝置，其特征在于，

所述膜體的所述強(qiáng)度保持層的材質(zhì)由芳香族聚酰胺纖維、不銹鋼絲網(wǎng)、鋼絲網(wǎng)、碳纖維、玻璃纖維、尼龍纖維、或者與這些材料具有同等拉伸強(qiáng)度的材料制成。

9.如權(quán)利要求1所述的基板的研磨方法，其特征在于，

通過向所述膜框的膜體和基板的緣部之間的邊界部供給流體而使基板從膜框剝離。

10.如權(quán)利要求4所述的基板的研磨裝置，其特征在于，

在所述基板拆卸臺上設(shè)置有剝離用流體供給單元，該剝離用流體供給單元通過向所述膜框的膜體和基板的緣部之間的邊界部供給流體而使基板從膜框剝離。

11.如權(quán)利要求1所述的基板的研磨方法，其特征在于，

在將所述膜框安裝于所述托架之前將基板貼合于所述膜框的工序中，具有：將基板載置于載置臺的工序；在載置于載置臺的基板上放置膜框的膜體的工序；及將貼合用輥按壓在基板上所放置的膜體上，并且使載置臺及貼合用輥沿膜體的表面相對地移動，通過貼合用輥將膜體貼合于基板的工序。

12.如權(quán)利要求4所述的基板的研磨裝置，其特征在于，

在將所述膜框安裝于所述托架之前將基板貼合于所述膜框上的基板的研磨裝置中，所述基板貼合臺具備載置所述基板的載置臺、貼合用輥、及使所述載置臺及所述貼合用輥相對移動的移動單元，將貼合用輥按壓在載置臺上的基板上所放置的膜體上，并且通過移動單元使載置臺及貼合用輥沿膜體的表面相對地移動，通過貼合用輥將膜體貼合在基板上。

13.如權(quán)利要求4所述的基板的研磨裝置，其特征在于，

所述膜框通過多個銷裝卸自如地與所述托架連結(jié)，該多個銷中規(guī)定數(shù)量的銷活動自如地安裝于膜框上，其余的銷被固定在膜框上以便相對于所述托架進(jìn)行定位。