[發明專利]光學膜片加工模具及其制作方法

無效

• 申請號: 201010296826.9
• 申請日: 2010-09-29
• 公開（公告）號: CN102433562A
• 公開（公告）日: 2012-05-02
• 發明（設計）人: 許嘉麟
• 申請（專利權）人: 鴻富錦精密工業（深圳）有限公司;鴻海精密工業股份有限公司
• 主分類號: C23C28/00
• 分類號: C23C28/00;C23C22/02;C23C16/40
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種光學膜片加工模具的制作方法，其包括：

提供一個模具基體；

利用原子層沉積技術在所述模具基體表面形成一氧化鋁薄膜；以及

將氟化脂肪酸與所述氧化鋁薄膜進行脫水反應，在所述氧化鋁薄膜表面形成一氟化自組裝單分子膜層。

2.如權利要求1所述的加工模具的制作方法，其特征在于，形成所述氧化鋁薄膜包括步驟：

模具基體置入一真空腔體，控制所述腔體的溫度置于100攝氏度-400攝氏度之間；

向所述腔體內交替通入前驅物及氧源，以在所述模具基體表面沉積形成一氧化鋁薄膜。

3.如權利要求1所述的加工模具的制作方法，其特征在于，在所述氧化鋁薄膜表面形成一氟化自組裝單分子膜層包括步驟：

將形成有氧化鋁薄膜的模具基體置于一惰性氣體環境的密閉容器中，并向所述容器中加入具長碳鏈的氟化脂肪酸；

加熱所述密閉容器，使得所述長碳鏈的氟化脂肪酸氣化，氣化的所述氟化脂肪酸與所述模具基體表面的氧化鋁進行脫水反應，在所述模具基體上形成氟化自組裝單分子膜層。

4.如權利要求3所述的加工模具的制作方法，其特征在于，所述氟化脂肪酸為直鏈全氟化脂肪酸，其化學式為CF₃(CF₂)_nCOOH，其中n＝3、6、8、10或16。

5.如權利要求3所述的加工模具制作方法，其特征在于，所述氟化脂肪酸為直鏈部分氟化脂肪酸，其化學式為CF₃(CF₂)_n(CH₂)_mCOOH，其中n+m＝3、6、8、10、16，n及m為自然數。

6.如權利要求1所述的加工模具的制作方法，其特征在于，在形成所述氟化自組裝單分子膜層之后，還包含依次以氯仿、丙酮、酒精以及去離子水清潔所述氟化自組裝單分子膜層表面，以去除氟化自組裝單分子膜層表面的多余吸附。

7.一種采用權利要求1提供的方法制得的光學膜片加工模具，其包括一個模具基體、形成于所述膜具基體表面的氧化鋁薄膜以及形成于所述氧化鋁薄膜上的氟化自組裝單分子膜層，所述氟化自組裝單分子膜層是所述氧化鋁薄膜與氟化的脂肪酸通過脫水反應鏈接形成。

8.如權利要求7所述的光學膜片加工模具，其特征在于，所述氟化自組裝單分子膜層為全氟化自組裝單分子膜層或部分氟化自組裝單分子膜層。

9.如權利要求7所述的光學膜片加工模具，其特征在于，所述氧化鋁薄膜的厚度為50nm至150nm。