[發明專利]磷擴散爐管兩端進氣裝置有效
| 申請號： | 201010296476.6 | 申請日： | 2010-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN102094247A | 公開（公告）日： | 2011-06-15 |
| 發明（設計）人： | 方智 | 申請（專利權）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分類號： | C30B31/16 | 分類號： | C30B31/16 |
| 代理公司： | 常州市維益專利事務所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 擴散 爐管 兩端 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種磷擴散爐管兩端進氣裝置，其特征是：包括兩根在爐管(1)內延伸的進氣管(2)，每根進氣管(2)的兩端均連接到氣源，每根進氣管(2)兩端通入的為同一種反應氣體，并通過閥門調節每根進氣管的兩端的進氣比率，進氣管(2)上有均勻分布的出氣孔(3)，出氣孔(3)的出氣方向平行與硅片(4)表面，兩根進氣管(2)分別通入不同的反應氣體。
2.根據權利要求1所述的磷擴散爐管兩端進氣裝置，其特征是：所述的兩根進氣管(2)上的出氣孔(3)的出氣方向相互垂直。
3.根據權利要求1或2所述的磷擴散爐管兩端進氣裝置，其特征是：所述的兩根進氣管(2)的延伸方向與爐管(1)的軸向平行，并且分別位于爐管(1)5點半和7點半方向。
4.根據權利要求1所述的磷擴散爐管兩端進氣裝置，其特征是：所述的不同的反應氣體分別為由N2攜帶的POCl3，以及O2。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于常州天合光能有限公司，未經常州天合光能有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201010296476.6/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
