[發明專利]一種太陽能電池用減反射材料及其制備方法

無效

• 申請號: 201010296389.0
• 申請日: 2010-09-29
• 公開（公告）號: CN101997039A
• 公開（公告）日: 2011-03-30
• 發明（設計）人: 朱燕艷
• 申請（專利權）人: 上海電力學院
• 主分類號: H01L31/0216
• 分類號: H01L31/0216;C04B35/50;C04B35/622
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司 31001
• 代理人: 吳寶根

1.一種太陽能電池用減反射材料，其特征在于該減反射材料為氧化鉺-氧化鋁（Er₂O₃-Al₂O₃）復合材料，其中Al₂O₃的含量為20～30%。

2.如權利要求1所述的太陽能電池用減反射材料，其特征在于該減反射材料是穩定的非晶復合氧化物材料。

3.如權利要求1所述的太陽能電池用減反射材料的制備方法，其特征在于該方法包括如下步驟：?

（1）、將Er₂O₃與Al₂O₃按比例混合制成陶瓷靶材；?

（2）、硅片生長前先用去離子水超聲清洗10min，再用濃度為1%的HF酸腐蝕30s以去除Si(100)襯底的表面自然氧化層，將清洗好的Si(100)襯底送進生長室；

（3）、用磁控濺射的方法將步驟（1）所得的陶瓷靶材置于步驟（2）所得的P型Si(100)襯底上以制備Er₂O₃與Al₂O₃復合氧化物薄膜，襯底的電阻率為2～10Ωcm，射頻功率為40W，濺射氣體為Ar和O₂，氧分壓比P=P(O₂)/((P(O₂)+P(Ar))為1%，工作氣壓為1.0Pa，生長完成后得到Er₂O₃與Al₂O₃復合氧化物薄膜；

（4）、將步驟（3）所得的Er₂O₃與Al₂O₃復合氧化物薄膜經900℃氧氣退火處理，即得本發明的太陽能電池用減反射材料。