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[發明專利]一種多晶硅的提純方法無效

專利信息
申請號: 201010295501.9 申請日: 2010-09-29
公開(公告)號: CN102432019A 公開(公告)日: 2012-05-02
發明(設計)人: 劉海英;陳文杰;徐云飛 申請(專利權)人: 比亞迪股份有限公司
主分類號: C01B33/037 分類號: C01B33/037
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 518118 廣東省*** 國省代碼: 廣東;44
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 多晶 提純 方法
【權利要求書】:

1.一種多晶硅的提純方法,包括在超聲環境中,將多晶硅顆粒浸沒于強氧化性溶液中,然后過濾,水洗多晶硅顆粒并干燥;其中,所述多晶硅顆粒的平均粒徑不大于1mm,所述強氧化性溶液的pH值為1-6。

2.根據權利要求1所述的提純方法,其特征在于,所述強氧化性溶液為強氧化物的水溶液;所述強氧化物選自高氯酸鹽、高碘酸鹽、焦硫酸鹽、高錳酸鹽、高氯酸、高碘酸、焦硫酸、高錳酸中的一種或多種。

3.根據權利要求2所述的提純方法,其特征在于,所述強氧化性溶液中,強氧化物的濃度為0.01-100g/l。

4.根據權利要求1-3中任意一項所述的提純方法,其特征在于,多晶硅中硼含量為3-5ppmw。

5.根據權利要求4所述的提純方法,其特征在于,所述超聲頻率為10-60KHZ。

6.根據權利要求1、2、3、5中任意一項所述的提純方法,其特征在于,所述多晶硅顆粒的平均粒徑為500-1000um。

7.根據權利要求1-3中任意一項所述的提純方法,其特征在于,所述強氧化性溶液中含有酸,所述酸選自鹽酸、硫酸、硝酸、磷酸中的一種或多種;所述酸的含量使強氧化性溶液的pH值為1-6。

8.根據權利要求1、2、3、5中任意一項所述的提純方法,其特征在于,所述多晶硅顆粒的量與強氧化性溶液的質量比為0.001-1.5:1。

9.根據權利要求1、2、3、5中任意一項所述的提純方法,其特征在于,在20-100℃下,將多晶硅顆粒浸沒于強氧化性溶液中10-240min。

10.根據權利要求9所述的提純方法,其特征在于,所述水洗多晶硅顆粒的方法為:采用超純水沖洗多晶硅顆粒至中性;在真空條件下對多晶硅顆粒進行干燥處理。

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