[發明專利]檢查系統以及檢查方法

有效

• 申請號: 201010294406.7
• 申請日: 2010-09-20
• 公開（公告）號: CN102169095A
• 公開（公告）日: 2011-08-31
• 發明（設計）人: 三宅淳司
• 申請（專利權）人: 凱德易株式會社
• 主分類號: G01N21/898
• 分類號: G01N21/898;G01B11/30
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所 31210
• 代理人: 徐申民

1.一種檢查系統，其對設定在工件表面的檢查對象面內的異常凹凸進行檢查，其特征在于，包括：

對單位條紋周期性連續的條紋圖案進行顯示的顯示部，所述單位條紋由呈一定寬度的直線狀的明部以及暗部構成；

對映入所述檢查對象面的所述條紋圖案進行拍攝的拍攝單元；

保持單元，其保持所述顯示部，使得所述單位條紋的延伸方向與所述檢查對象面大致平行，并且保持所述拍攝單元使得拍攝光軸相對于檢查對象面傾斜；

驅動所述保持單元或者工件，使它們的相對位置多次變化的相對位置設定部；

確定部，其在所述各相對位置的條紋圖案映入圖像中，從接近工件側的端緣開始數起位于規定距離范圍內的映入圖像中確定一個或者連續的多個單位條紋映入圖像；

相位變化部，其在所述各相對位置，使得從所述拍攝單元拍攝到的所述條紋圖案在檢查對象面上的映入位置每次錯開1/n周期，其中n是2以上的整數；

圖像處理部，其能夠根據所述各相對位置處的各相位的單位條紋映入圖像判斷所述檢查對象面內的異常凹凸并進行輸出，

所述相對位置設定部利用在所述各相對位置被確定的單位條紋映入圖像對各相對位置進行設定，使得所述檢查對象面被覆蓋。

2.如權利要求1所述的檢查系統，其特征在于，所述相位變化部通過使得所述拍攝單元或者顯示部的位置變化，從而使得所述條紋圖案在檢查對象面上的映入位置每次錯開1/n周期，其中n是2以上的整數。

3.如權利要求1所述的檢查系統，其特征在于，

所述顯示部形成為，排列有多列LED等發光元件，對于每一列都設定所述發光元件的明暗，由此來顯示所述條紋圖案，

所述相位變化部通過使得所述發光元件的明暗按每一列周期性地隨時間變化，從而使得所述條紋圖案在檢查對象面上的映入位置每次錯開1/n周期，其中n是2以上的整數。

4.如權利要求1所述的檢查系統，其特征在于，所述條紋圖案的明部以及暗部的輝度在寬度方向上呈正弦波狀地變化，

所述相位變化部使得正弦波條紋圖案的映入位置各錯開1/4周期變化為A相、B相、C相、D相四個相位。

5.如權利要求1所述的檢查系統，其特征在于，所述檢查對象面與拍攝單元的拍攝光軸所成的角度在10°以下。

6.如權利要求1所述的檢查系統，其特征在于，所述檢查對象面彎曲，以映入檢查對象面的單位條紋的延伸方向與該彎曲面的非彎曲方向正交的狀態配置所述顯示部。

7.如權利要求1所述的檢查系統，其特征在于，所述確定部確定以一定鮮明度以上顯示的一個或者連續的多個單位條紋的映入圖像。

8.一種檢查方法，其是對設定在工件表面的檢查對象面內的異常凹凸進行檢查的方法，其特征在于，設置有：

顯示部，該顯示部對單位條紋周期性連續的條紋圖案進行顯示，所述單位條紋由呈一定寬度的直線狀的明部以及暗部構成；

對映入所述檢查對象面的所述條紋圖案進行拍攝的拍攝單元；

保持單元，其保持所述顯示部，使得所述單位條紋的延伸方向與所述檢查對象面大致平行，并且保持所述拍攝單元，使得拍攝光軸相對于檢查對象面傾斜；

在以上構成的基礎上，實施以下步驟：在所述各相對位置的條紋圖案映入圖像中，從接近工件側的端緣開始數起位于規定距離范圍內的映入圖像中確定一個或者連續的多個單位條紋映入圖像的確定步驟；

在所述各相對位置，使得從所述拍攝單元拍攝到的所述條紋圖案在檢查對象面上的映入位置每次錯開1/n周期的相位變化步驟，其中n是2以上的整數；

能夠根據所述各相對位置的各相位的單位條紋映入圖像判斷所述檢查對象面內的異常凹凸并進行輸出的圖像處理步驟，

在所述相對位置設定步驟中，利用在所述各相對位置被確定的單位條紋映入圖像對各相對位置進行設定，以覆蓋所述檢查對象面。

9.如權利要求8所述的檢查方法，其特征在于，在所述相位變化步驟中，通過使得所述拍攝單元或者顯示部的位置變化，使得所述條紋圖案在檢查對象面上的映入位置每次錯開1/n周期，其中n是2以上的整數。

10.如權利要求8所述的檢查方法，其特征在于，

所述顯示部形成為，排列有多列LED等發光元件，對于每一列都設定所述發光元件的明暗，由此來顯示所述條紋圖案，

在所述相位變化步驟，通過使得所述發光元件的明暗按每一列周期性地隨時間變化，使得所述條紋圖案在檢查對象面上的映入位置每次錯開1/n周期，其中n是2以上的整數。