[發明專利]靜壓軸承裝置以及具備靜壓軸承裝置的工作臺

有效

• 申請號: 201010293517.6
• 申請日: 2010-09-21
• 公開（公告）號: CN102135137A
• 公開（公告）日: 2011-07-27
• 發明（設計）人: 內村勝次;伊藤守
• 申請（專利權）人: 新東工業株式會社
• 主分類號: F16C32/06
• 分類號: F16C32/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王軼;李偉

1.一種靜壓軸承裝置，其構成為在固定體和移動體的滑動面之間設置軸承間隙，并向該軸承間隙供給加壓氣體，從而使上述移動體在上述固定體上浮起并能夠移動，其特征在于，

上述移動體具備：

供給加壓氣體的主配管；

節流孔，其設置于在滑動面呈開口的主配管的噴出口處，對加壓氣體進行整流；

靜壓衰減器，其形成有與上述節流孔連通并將從上述節流孔噴出的加壓氣體分配供給到上述軸承間隙的通氣槽，

上述通氣槽的構成包括：

環狀槽，其圍繞上述節流孔形成為環狀；

多個分配槽，它們以上述節流孔為中心朝向上述環狀槽以放射狀延伸設置并將上述環狀槽和上述節流孔連通，

上述通氣槽形成為相對于上述移動體的移動方向中心線對稱，

上述通氣槽的寬度方向的截面形狀形成朝向離開滑動面的方向突出的曲線。

2.根據權利要求1所述的靜壓軸承裝置，其特征在于，

上述分配槽寬度方向的截面積的總和為上述節流孔的截面積以上。

3.根據權利要求1所述的靜壓軸承裝置，其特征在于，

將上述通氣槽的表面粗糙度形成為小于上述移動體的滑動面的表面粗糙度。

4.根據權利要求1至3中任意一項所述的靜壓軸承裝置，其特征在于，

還具備排氣槽，該排氣槽圍繞上述環狀槽設置，將從上述通氣槽供給到上述軸承間隙的加壓氣體向上述軸承間隙的外側引導并予以排出，

上述排氣槽形成為相對于上述移動體的移動方向中心線對稱，

寬度方向的截面形狀形成朝向離開滑動面的方向突出的曲線，并且截面積為上述環狀槽的截面積以上。

5.根據權利要求1至3中任意一項所述的靜壓軸承裝置，其特征在于，

將上述軸承間隙設為10μm以下。

6.根據權利要求1至3中任意一項所述的靜壓軸承裝置，其特征在于，

上述移動體以及固定體由陶瓷構成。

7.一種工作臺，其特征在于，

具備權利要求1至3中任意一項所述的靜壓軸承裝置，并構成為在上述移動體上搭載物體且能夠沿著上述固定體移動。