[發(fā)明專利]靜壓軸承裝置以及具備靜壓軸承裝置的工作臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010293517.6
• 申請日: 2010-09-21
• 公開（公告）號: CN102135137A
• 公開（公告）日: 2011-07-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 內(nèi)村勝次;伊藤守
• 申請（專利權(quán)）人: 新東工業(yè)株式會社
• 主分類號: F16C32/06
• 分類號: F16C32/06
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 王軼;李偉

1.一種靜壓軸承裝置，其構(gòu)成為在固定體和移動體的滑動面之間設(shè)置軸承間隙，并向該軸承間隙供給加壓氣體，從而使上述移動體在上述固定體上浮起并能夠移動，其特征在于，

上述移動體具備：

供給加壓氣體的主配管；

節(jié)流孔，其設(shè)置于在滑動面呈開口的主配管的噴出口處，對加壓氣體進(jìn)行整流；

靜壓衰減器，其形成有與上述節(jié)流孔連通并將從上述節(jié)流孔噴出的加壓氣體分配供給到上述軸承間隙的通氣槽，

上述通氣槽的構(gòu)成包括：

環(huán)狀槽，其圍繞上述節(jié)流孔形成為環(huán)狀；

多個(gè)分配槽，它們以上述節(jié)流孔為中心朝向上述環(huán)狀槽以放射狀延伸設(shè)置并將上述環(huán)狀槽和上述節(jié)流孔連通，

上述通氣槽形成為相對于上述移動體的移動方向中心線對稱，

上述通氣槽的寬度方向的截面形狀形成朝向離開滑動面的方向突出的曲線。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜壓軸承裝置，其特征在于，

上述分配槽寬度方向的截面積的總和為上述節(jié)流孔的截面積以上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜壓軸承裝置，其特征在于，

將上述通氣槽的表面粗糙度形成為小于上述移動體的滑動面的表面粗糙度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的靜壓軸承裝置，其特征在于，

還具備排氣槽，該排氣槽圍繞上述環(huán)狀槽設(shè)置，將從上述通氣槽供給到上述軸承間隙的加壓氣體向上述軸承間隙的外側(cè)引導(dǎo)并予以排出，

上述排氣槽形成為相對于上述移動體的移動方向中心線對稱，

寬度方向的截面形狀形成朝向離開滑動面的方向突出的曲線，并且截面積為上述環(huán)狀槽的截面積以上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的靜壓軸承裝置，其特征在于，

將上述軸承間隙設(shè)為10μm以下。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的靜壓軸承裝置，其特征在于，

上述移動體以及固定體由陶瓷構(gòu)成。

7.一種工作臺，其特征在于，

具備權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的靜壓軸承裝置，并構(gòu)成為在上述移動體上搭載物體且能夠沿著上述固定體移動。