[發(fā)明專利]懸臂式壓電頭結(jié)構(gòu)的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010293468.6
• 申請日: 2010-09-20
• 公開（公告）號: CN102407664A
• 公開（公告）日: 2012-04-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄭江河;黃啟峰
• 申請（專利權(quán)）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: B41J2/045
• 分類號: B41J2/045
• 代理公司: 上海專利商標事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 喻學兵

1.一種懸臂式壓電頭結(jié)構(gòu)的制造方法，至少包含步驟：

(a)提供一固定座，其具有一供液流道；

(b)將具有一噴嘴孔的噴孔板僅單側(cè)設(shè)置于該固定座上，并于該噴孔板上涂布一干膜層；

(c)提供多個具有出液流道的中間流道板設(shè)置于該噴孔板之上，以使每一該中間流道板的該出液流道與該固定座的該供液流道相連通，并于該中間流道板上涂布一干膜層；

(d)提供一振動板設(shè)置封蓋于該中間流道板上方，以于該固定座上形成多個基板；

(e)以該基板上下同時加溫的方式進行一熱壓，且于施壓的狀態(tài)下降溫至接近室溫時達成該干膜層完全固化定位于該基板的各板層；

(f)提供一致動片對應(yīng)貼附設(shè)置于該多個基板上；

(g)對該致動片以形成每一該基板的兩側(cè)邊進行直線切割，促使該致動片對應(yīng)于該基板之處分別產(chǎn)生多個致動單元，以形成一懸臂式壓電頭結(jié)構(gòu)。

2.如權(quán)利要求1所述的懸臂式壓電頭結(jié)構(gòu)的制造方法，其中該步驟(f)的該致動片對應(yīng)貼附設(shè)置于該基板上，且該致動片面積的設(shè)置位置并未涵蓋于該固定座的上方。

3.如權(quán)利要求1所述的懸臂式壓電頭結(jié)構(gòu)的制造方法，其中該步驟(f)的該致動片對應(yīng)貼附設(shè)置于該基板上，且該致動片面積的設(shè)置位置涵蓋于該固定座的上方。

4.如權(quán)利要求1所述的懸臂式壓電頭結(jié)構(gòu)的制造方法，其中該干膜層為具有阻擋水性溶劑的壓克力(Acrylic)系列材質(zhì)。

5.如權(quán)利要求1所述的懸臂式壓電頭結(jié)構(gòu)的制造方法，其中該干膜層為溶劑型及硬化墨水則可使用環(huán)氧樹脂(Epoxy)系列材質(zhì)膠膜。

6.如權(quán)利要求1所述的懸臂式壓電頭結(jié)構(gòu)的制造方法，其中該熱壓制程使用溫度約介于150至200℃，壓力則在3至6kg/cm²間，時間約需1小時，且于施壓的狀態(tài)下降溫至接近室溫時達成該干膜層完全固化定位于該基板的各板層。