[發明專利]超低頻振動計量器具校準系統及其激光干涉儀

有效

• 申請號: 201010292666.0
• 申請日: 2010-09-26
• 公開（公告）號: CN101968380A
• 公開（公告）日: 2011-02-09
• 發明（設計）人: 于梅;劉愛東;馬明德;左愛斌;楊麗峰;胡紅波;何聞
• 申請（專利權）人: 中國計量科學研究院;浙江大學
• 主分類號: G01H17/00
• 分類號: G01H17/00;G01H9/00;G02B7/182
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 謝建云;劉鵬

1.一種適于在超低頻振動計量器具校準系統中使用的激光干涉儀，所述超低頻振動計量器具校準系統還包括用于產生超低頻振動的振動臺，該激光干涉儀包括：

平面反射鏡，其中所述激光干涉儀發射到所述振動臺上的測量光由所述平面反射鏡進行反射。

2.如權利要求1所述的激光干涉儀，其中所述激光干涉儀還具有參考光路，而且所述參考光路包括：

多個反射鏡，所述多個反射鏡固定在所述參考光路的鏡架上，并且根據與所述鏡架底座的距離而分為多個反射鏡組，

其中每個反射鏡組包括多個反射鏡，每個反射鏡組中的一個反射鏡將光反射到其他反射鏡組中。

3.如權利要求2所述的激光干涉儀，其中所述反射鏡組為兩個。

4.如權利要求1-3中的任一個所述的激光干涉儀，其中所述激光干涉儀采用參考光和測量光等光程設計。

5.如權利要求1-3中的任一個所述的激光干涉儀，其中所述激光干涉儀還包括沃拉斯頓棱鏡以產生兩路正交的干涉光，而且所述激光干涉儀還包括兩個光電接收-放大器，用于分別對所述干涉光進行光電轉換以產生電信號，其中所述兩個光電接收-放大器中的每個均包括：

光電倍增管，用于對入射到所述光電倍增管的光信號進行光電轉換。

6.如權利要求5所述的激光干涉儀，其中所述兩個光電接收-放大器中的每個均還包括：

跟隨電路，對所述光電倍增管產生的電信號進行擴流；

零偏置電路，對所述擴流后的電信號進行偏置調零；以及

放大電路，用于對所述擴流且經過偏置調零后的電信號進行放大。

7.一種超低頻振動計量器具校準系統，包括如權利要求1-6中的任一個所述的激光干涉儀。

8.如權利要求7所述的超低頻振動計量器具校準系統，還包括：

振動臺，用于產生在某個頻率下的低頻和超低頻振動，而且被測低頻或超低頻振動計量器具安裝在所述振動臺上以感測所產生的低頻或超低頻振動；

角錐棱鏡，安裝在所述振動臺上，將由所述激光干涉儀所產生的測量光反射到所述平面反射鏡上，并將來自所述平面反射鏡的反射光反射回所述激光干涉儀；以及

數據采集和處理裝置，接收由所述激光干涉儀產生的兩路相互正交的電信號以及由所述被測低頻或超低頻振動計量器具產生的感測信號，根據所述電信號和所述感測信號生成所述被測低頻或超低頻振動計量器具在所述低頻或超低頻頻率下的感測靈敏度。

9.如權利要求8所述的低頻或超低頻振動計量器具校準系統，其中所述數據采集和處理裝置包括：

數據采集部件，采集由所述激光干涉儀產生的兩路相互正交的電信號以及由所述被測低頻或超低頻振動計量器具產生的感測信號以產生要處理的數據；

數據分解部件，對所述要處理的數據進行分割以生成多個可以被子模塊運算部件一次處理的子數據以及剩余數據；

所述子模塊運算部件，接收所述多個子數據，并進行相應的矩陣運算處理以產生相應的子結果；

余數運算部件，接收所述剩余數據并進行相應的矩陣運算處理以產生余數子結果；

合并運算部件，接收所述子結果以及所述余數子結果，對所述子結果以及所述余數子結果進行合并處理以產生最后的處理結果；以及

結果輸出部件，輸出所述最后的處理結果。