[發明專利]熱處理裝置和冷卻方法

有效

• 申請號: 201010287738.2
• 申請日: 2010-09-17
• 公開（公告）號: CN102031567A
• 公開（公告）日: 2011-04-27
• 發明（設計）人: 草壁義憲;山賀健一
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: C30B33/02
• 分類號: C30B33/02;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/324
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種熱處理裝置，其是對多個被處理體進行熱處理的熱處理裝置，其特征在于，包括：

處理容器；

支承部件，其一邊支承多張上述被處理體一邊能夠插入到上述處理容器內或從上述處理容器內退出地進行移動；

加熱爐，其以隔著氣體通過的冷卻空間而圍繞上述處理容器的方式設置在上述處理容器的外周側；

冷卻氣體導入部件，其設于上述加熱爐，用于向上述冷卻空間導入冷卻上述處理容器的冷卻氣體，其包括吹入用鼓風機和氣體導入通道；

冷卻氣體排出部件，其設于上述加熱爐，用于從上述冷卻空間排出已升溫的上述冷卻氣體，其包括氣體排出通道、換熱器和吸出用鼓風機；

降溫用氣體導入部件，其設在上述冷卻空間和上述換熱器之間。

2.根據權利要求1所述的熱處理裝置，其特征在于，

上述加熱爐以隔著規定寬度的冷卻空間而圍繞該處理容器的方式設置在上述處理容器的外周側，

在上述氣體排出通道上從上游側朝向下游側依次設有換熱器和吸出用鼓風機，

上述降溫用氣體導入部件在換熱器上游側設于上述氣體排出通道上，向上述已升溫的冷卻氣體導入降溫用氣體并使其降溫。

3.根據權利要求1所述的熱處理裝置，其特征在于，

上述降溫用氣體導入部件包括：

降溫用氣體導入通道，其與上述氣體排出通道連接；

閥，其設于上述降溫用氣體導入通道的中途，用于控制上述降溫用氣體的流動；

氣體溫度測量部件，其設于上述氣體排出通道的換熱器的上游側，用于對流入上述換熱器的氣體的溫度進行測量；

閥控制部，其基于上述氣體溫度測量部件的溫度測量值來控制上述閥，以使上述氣體的溫度成為規定的溫度以下。

4.根據權利要求3所述的熱處理裝置，其特征在于，

上述閥是能夠調整閥開度的開閉閥。

5.根據權利要求3所述的熱處理裝置，其特征在于，

在上述氣體排出通道和上述降溫用氣體導入通道的連接部設有混合器。

6.根據權利要求1所述的熱處理裝置，其特征在于，

上述降溫用氣體導入部件包括：

降溫用氣體導入通道，其與上述氣體排出通道連接；

降溫用鼓風機，其與上述降溫用氣體導入通道連接；

閥，其設于上述降溫用氣體導入通道的中途，用于控制上述降溫用氣體的流動；

閥控制部，其以冷卻開始為起點并以預定的時間控制上述閥，使得流入上述換熱器的氣體的溫度成為規定的溫度以下。

7.根據權利要求6所述的熱處理裝置，其特征在于，

上述閥是能夠調整閥開度的開閉閥。

8.根據權利要求6所述的熱處理裝置，其特征在于，

在上述氣體排出通道和上述降溫用氣體導入通道的連接部設有混合器。

9.一種熱處理裝置，其是對多個被處理體進行熱處理的熱處理裝置，其特征在于，包括：

處理容器；

支承部件，其一邊支承多張上述被處理體一邊能夠插入到上述處理容器內或從上述處理容器內退出地進行移動；

加熱爐，其以隔著氣體通過的冷卻空間而圍繞上述處理容器的方式設置在上述處理容器的外周側，；

冷卻氣體導入部件，其設于上述加熱爐，用于向上述冷卻空間導入冷卻上述處理容器的冷卻氣體，其包括吹入用鼓風機和氣體導入通道；

冷卻氣體排出部件，其設于上述加熱爐，用于從上述冷卻空間排出已升溫的上述冷卻氣體，其包括氣體排出通道、換熱器和吸出用鼓風機；

分流部件，其根據需要將上述氣體導入通道和上述氣體排出通道連通，并使上述冷卻氣體的一部分分流。

10.一種熱處理裝置，其特征在于，

上述加熱爐以隔著規定的寬度的冷卻空間而圍繞處理容器的方式設置在上述處理容器的外周側，

在上述氣體排出通道上從上游側朝向下游側依次設有換熱器和吸出用鼓風機。