[發(fā)明專利]一種對準(zhǔn)系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010286110.0
• 申請日: 2010-09-17
• 公開（公告）號(hào): CN102402140A
• 公開（公告）日: 2012-04-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 杜聚有
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機(jī)械工程有限公司
• 主分類號(hào): G03F9/00
• 分類號(hào): G03F9/00;G03F7/20
• 代理公司: 北京連和連知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11278
• 代理人: 王光輝

1.一種對準(zhǔn)系統(tǒng)，包括：

光源模塊，提供對準(zhǔn)系統(tǒng)所需的對準(zhǔn)光束，所述對準(zhǔn)光束至少具有兩個(gè)傳播方向；

光學(xué)條紋形成裝置，接收上述不同方向的對準(zhǔn)光束，形成第一光學(xué)條紋；

光學(xué)模塊，接收上述第一光學(xué)條紋，形成具有和下述對準(zhǔn)標(biāo)記相同的周期和方向的第二光學(xué)條紋，并接收所述第二光學(xué)條紋照射到下述對準(zhǔn)標(biāo)標(biāo)記后形成的衍射光束；

對準(zhǔn)標(biāo)記，具有一定的周期，至少向兩個(gè)方向排列，其能接收第二光學(xué)條紋，并使其發(fā)生衍射；

光電探測器，設(shè)置在光學(xué)模塊和光學(xué)條紋形成裝置之間，接收并測量上述第二光學(xué)條紋經(jīng)上述對準(zhǔn)標(biāo)記衍射后的光束的強(qiáng)度，利用光強(qiáng)變化反映的位相信息確定對準(zhǔn)位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種對準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于：所述光學(xué)模塊為具有遠(yuǎn)心光路的透鏡結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種對準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于：所述光電探測器設(shè)置在所述透鏡結(jié)構(gòu)的頻譜面上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種對準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于：所述光學(xué)條紋形成裝置為半透半反平板或振幅光柵。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種對準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于：所述半透半反平板厚度和傾斜角度滿足如下公式

d=fλ2h×tan(arcsinsinθN)cosθ]]>

其中d為第二光學(xué)條紋周期，f為光學(xué)模塊焦距，λ為照明光束波長，N為半反半透平板的折射率，h為半反半透平板厚度，θ為半反半透平板相對照明光束所在平面的傾斜角度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種對準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于：所述對準(zhǔn)光束具有兩個(gè)相互垂直的傳播方向。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種對準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于：所述對準(zhǔn)標(biāo)記具有至少一組相互垂直的相位光柵，光學(xué)條紋照射到對準(zhǔn)標(biāo)記上后在互相垂直的兩個(gè)方向上形成衍射光束，在對準(zhǔn)標(biāo)記與對準(zhǔn)系統(tǒng)相對運(yùn)動(dòng)的過程中，利用探測器陣列測量相互垂直的兩個(gè)方向上的衍射光束的強(qiáng)度，利用光強(qiáng)變化反映的位相信息確定對準(zhǔn)位置，當(dāng)光強(qiáng)最大時(shí)即為對準(zhǔn)位置。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任意一個(gè)所述的對準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于：所述衍射光束具有一個(gè)以上衍射級(jí)次，每個(gè)衍射級(jí)次對應(yīng)至少兩個(gè)相同的掃描信號(hào)，這兩個(gè)掃描信號(hào)相互矯正，合并形成一個(gè)矯正后的掃描信號(hào)。