[發明專利]藍寶石硅棒的切割方法有效
| 申請號: | 201010286089.4 | 申請日: | 2010-09-17 |
| 公開(公告)號: | CN102398318A | 公開(公告)日: | 2012-04-04 |
| 發明(設計)人: | 盧建偉 | 申請(專利權)人: | 上海日進機床有限公司 |
| 主分類號: | B28D5/04 | 分類號: | B28D5/04 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 201601 上海*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 藍寶石 切割 方法 | ||
1.一種藍寶石硅棒的切割方法,其特征在于,該切割方法包括以下步驟:
(1)提供一圓柱體藍寶石硅棒,并在所述藍寶石硅棒上切出一平行于軸線的平面側壁;提供一工件治具,所述工件治具具有一橫梁以及固定在所述橫梁兩端的轉軸部;
(2)將所述藍寶石硅棒的平面側壁經由黏合介質黏合在所述工件治具的橫梁上,并使所述藍寶石硅棒的軸線與所述工件治具的兩端轉軸部的中心軸線為同一軸心線;
(3)提供至少一根可高速運行的金剛線,將所述金剛線置于所述藍寶石硅棒下方,并使所述金剛線的走線方向與所述軸心線相對垂直;
(4)設置所述工件治具轉速及垂向下移速度;
(5)高速運行所述金剛線,同時下降黏合有所述藍寶石硅棒的工件治具,使所述藍寶石硅棒壓迫所述高速運行的金剛線;以及
(6)依據預先設置的轉速及垂向下移速度旋轉并下移所述工件治具,當所述工件治具的橫梁觸碰到所述金剛線時換向旋轉,同時隨著所述藍寶石硅棒切割深度的遞增所述工件治具的轉角遞減,直至切割結束。
2.根據權利要求1所述的藍寶石硅棒的切割方法,其特征在于:所述藍寶石硅棒平面側壁的寬度等于所述工件治具橫梁的寬度。
3.根據權利要求1所述的藍寶石硅棒的切割方法,其特征在于:所述黏合介質為黏合膠。
4.根據權利要求1所述的藍寶石硅棒的切割方法,其特征在于:所述藍寶石硅棒的平面側壁與所述工件治具的橫梁之間還黏合有一塊玻璃板。
5.根據權利要求1所述的藍寶石硅棒的切割方法,其特征在于:所述工件治具轉速及垂向下移速度為勻速。
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