[發(fā)明專利]一種反射帶位置動(dòng)態(tài)可調(diào)的選擇性濾光片

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010284485.3
• 申請(qǐng)日: 2010-09-17
• 公開（公告）號(hào): CN102004331A
• 公開（公告）日: 2011-04-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡古今;張婷;戴寧
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所
• 主分類號(hào): G02F1/05
• 分類號(hào): G02F1/05
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 郭英

1.一種反射帶位置動(dòng)態(tài)可調(diào)的選擇性濾光片，在襯底(1)上依次置有第一致密鐵電膜層(2)，鐵電氧化物介質(zhì)反射膜堆(3)，第二致密鐵電膜層(4)和透明導(dǎo)電氧化物膜層上電極(5)，其特征在于：

所述的襯底(1)是透明導(dǎo)電氧化物F摻雜SnO₂涂布的玻璃；

所述的第一致密鐵電膜層(2)和第二致密鐵電膜層(4)是厚度為100～200nm的鋯鈦酸鉛薄膜；

所述的鐵電氧化物介質(zhì)反射膜堆(3)為鋯鈦酸鉛反射膜系，反射膜系由8～16個(gè)周期的致密鋯鈦酸鉛和多孔鋯鈦酸鉛膜層交替排列組成，其膜系結(jié)構(gòu)為：

第一致密鐵電膜層(2)/(HL)ⁿ/第二致密鐵電膜層(4)

其中：H是厚度為40-100nm的多孔鋯鈦酸鉛薄膜，L是厚度為40-100nm的致密鋯鈦酸鉛薄膜，n為周期數(shù)，取值范圍8-16；

所述的透明導(dǎo)電氧化物膜層上電極(5)是厚度為200～400nm的透明導(dǎo)電ZnO:Al薄膜。