[發明專利]浮法玻璃的制造方法

無效

• 申請號: 201010284335.2
• 申請日: 2010-09-14
• 公開（公告）號: CN102399048A
• 公開（公告）日: 2012-04-04
• 發明（設計）人: 廣松邦明;伊賀元一
• 申請（專利權）人: 旭硝子株式會社
• 主分類號: C03B18/02
• 分類號: C03B18/02;C03C3/091;C03C3/093;C03C3/083;C03C3/087;C03C3/089
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 王海川;穆德駿

技術領域

本發明涉及浮法玻璃、尤其是適合液晶顯示器(以下稱為LCD)、等離子體顯示面板(以下稱為PDP)等平板顯示器(以下稱為FPD)的玻璃基板的浮法玻璃的制造方法。

背景技術

浮法玻璃一直用于窗玻璃、鏡子等許多方面，近年來開始較多地作為FPD、尤其是TFT-LCD、PDP的玻璃基板而使用。

這樣的浮法玻璃可以通過公知的浮法進行制造。即，向熔融錫上連續供給熔融玻璃，將該熔融玻璃進行拉伸得到帶狀玻璃，使該帶狀玻璃與熔融錫分離，冷卻后進行切割，由此進行制造。

所述熔融錫容納在浮槽(float?bath)內，所述浮槽為一種內襯有特殊耐火材料的大型鋼制槽。另外，浮槽內的氣氛為以氮氣為主要成分、此外還含有氫氣等的還原性氣氛。

制造由鈉鈣玻璃構成的浮法玻璃時，熔融錫的上游溫度、即連續供給熔融玻璃的部分的熔融錫的溫度為1050℃；熔融錫的下游溫度、即帶狀玻璃被分離部分的熔融錫的溫度為600℃。另外，鈉鈣玻璃的玻璃化轉變點為550℃。

通過提升輥將與熔融錫分離的帶狀玻璃輥式輸送至退火爐，在該退火爐內同樣地輥式輸送的同時進行冷卻。調節退火爐的環境溫度進行該冷卻，使帶狀玻璃的溫度處于退火點以下且應變點以上的范圍內的時間盡可能延長。另外，退火點通常與玻璃化轉變點大致相等。

將冷卻后的帶狀玻璃切割為所需的尺寸，得到浮法玻璃。

發明內容

TFT-LCD的制造中，將陣列側浮法玻璃與彩色濾光片側基板貼合，所述陣列側浮法玻璃在浮法玻璃上形成有柵極、TFT等，所述彩色濾光片側基板在將浮法玻璃切割為所需尺寸而得到的玻璃基板上形成有RGB彩色濾光片、黑色矩陣等。之后，將貼合有彩色濾光片側基板的陣列側浮法玻璃按照彩色濾光片側基板的尺寸進行切割，得到TFT-LCD。

近年來，隨著TFT-LCD的大型化，出現了在將陣列側浮法玻璃與彩色濾光片側基板貼合時TFT與彩色濾光片的圖案錯位增大的問題。

本發明的目的在于提供能夠解決以上問題的浮法玻璃的制造方法。

本發明提供一種浮法玻璃的制造方法，通過向熔融錫上連續供給熔融玻璃，將該熔融玻璃進行拉伸得到帶狀玻璃，使該帶狀玻璃與熔融錫分離，然后進行切割來制造浮法玻璃，其中，設浮法玻璃的玻璃化轉變點為T_G，則與熔融錫分離時的帶狀玻璃的溫度T₀為(T_G-50℃)～(T_G+30℃)。

本發明人認為，所述TFT-LCD的大型化所伴隨的圖案錯位問題，起因于用作玻璃基板的浮法玻璃中的平面應變，從而完成了本發明。即，在通過連續成形而制造的浮法玻璃中，不可避免地存在平面方向的應力分量即平面應力，將浮法玻璃進行切割而得到所需尺寸的玻璃基板(彩色濾光片側玻璃基板)時，所述平面應力得到釋放，結果玻璃基板發生變形。

當玻璃基板較小時，所述玻璃基板的變形較小因而圖案錯位問題不明顯，但是隨著TFT-LCD的大型化，玻璃基板變大，由此所述玻璃基板的變形增大，圖案錯位問題變得明顯。

具體實施方式

通過本發明的浮法玻璃的制造方法(以下稱為本發明的方法)制造的浮法玻璃(以下稱為本發明的玻璃)的厚度沒有限定，用于TFT-LCD等LCD的玻璃基板時，優選為0.3mm以上或1.5mm以下；用于PDP的玻璃基板時，優選為超過1.5mm或3mm以下。

本發明的玻璃的平面應力優選為400kPa以下。若超過400kPa，則將該玻璃進行切割制成TFT-LCD用玻璃基板時，其變形有增大的可能。更優選為350kPa以下，特別優選為300kPa以下。

所述平面應力如下進行測定。即，除玻璃周緣部25mm寬的部分之外，以間隔50mm的網格狀測定平面應力，將其最大值作為所述平面應力。

將本發明的玻璃用作TFT-LCD用玻璃基板時，進行熱處理A時的收縮(compaction)、即該熱處理前后玻璃基板表面的兩點間距離的變化率優選為15ppm以下，所述熱處理A為以100℃/小時從20℃升溫至450℃，保持1小時后，以100℃/小時降溫至20℃的熱處理。若超過15ppm，則在陣列側圖案形成時，圖案錯位有變大的可能。

將本發明的玻璃用作PDP用玻璃基板時，進行以100℃/小時從20℃升溫至580℃、保持1小時后、以100℃/小時降溫至20℃的熱處理時的收縮優選為500ppm以下。若超過500ppm，則在陣列側圖案形成時，圖案錯位有變大的可能。