[發(fā)明專(zhuān)利]噴墨頭壓電致動(dòng)單元的切割方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010282112.2
• 申請(qǐng)日: 2010-09-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102398419A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-04-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭江河;黃科銘;奚國(guó)元
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B41J2/14
• 分類(lèi)號(hào): B41J2/14;B41J2/16
• 代理公司: 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 喻學(xué)兵

1.一種噴墨頭壓電致動(dòng)單元的切割方法，該方法包含下列步驟：

(a)提供一噴墨頭多層結(jié)構(gòu)，其是由一振動(dòng)板以及多個(gè)板件堆棧設(shè)置而成，且該噴墨頭多層結(jié)構(gòu)具有多個(gè)噴墨單元，其中該多個(gè)噴墨單元相互對(duì)稱(chēng)設(shè)置，且每一該多個(gè)噴墨單元分別具有一腔體；

(b)將至少一壓電致動(dòng)片對(duì)應(yīng)設(shè)置于該多個(gè)噴墨單元該腔體的該振動(dòng)板上方，其中該腔體分別具有一第一邊、一第二邊、一第三邊及一第四邊，且每一該腔體的該第一邊是分別對(duì)齊于相對(duì)稱(chēng)的另一該腔體的該第三邊；以及

(c)以一晶圓切割刀沿著對(duì)應(yīng)于該腔體的該第一邊及相對(duì)稱(chēng)的該腔體的該第三邊對(duì)該至少一壓電致動(dòng)片進(jìn)行直線切割，以使該至少一壓電致動(dòng)片對(duì)應(yīng)于該腔體之處分別對(duì)應(yīng)產(chǎn)生多個(gè)對(duì)稱(chēng)設(shè)置的致動(dòng)單元。

2.如權(quán)利要求1所述的噴墨頭壓電致動(dòng)單元的切割方法，其中該至少一壓電致動(dòng)片是為二壓電致動(dòng)片，且該壓電致動(dòng)片分別具有一第一側(cè)邊及一第二側(cè)邊，該第一側(cè)邊對(duì)齊于該腔體的該第二邊及該第二側(cè)邊對(duì)齊于該腔體的該第四邊而設(shè)置。

3.如權(quán)利要求1所述的噴墨頭壓電致動(dòng)單元的切割方法，其中該至少一壓電致動(dòng)片是為二壓電致動(dòng)片，其中該壓電致動(dòng)片分別具有一第一側(cè)邊，且該第一側(cè)邊是對(duì)齊于該多個(gè)噴墨單元的該腔體的該第二邊而設(shè)置。

4.如權(quán)利要求3所述的噴墨頭壓電致動(dòng)單元的切割方法，其中于步驟(c)中還包含步驟(c1)：將該晶圓切割刀沿著對(duì)應(yīng)兩相對(duì)稱(chēng)設(shè)置的該腔體的該第四邊分別進(jìn)行直線切割，以將該壓電致動(dòng)片切割以形成多個(gè)對(duì)稱(chēng)設(shè)置的致動(dòng)單元。

5.如權(quán)利要求1所述的噴墨頭壓電致動(dòng)單元的切割方法，其中該噴墨頭多層結(jié)構(gòu)具有一基板，并具有一噴墨孔。

6.如權(quán)利要求5所述的噴墨頭壓電致動(dòng)單元的切割方法，其中該多個(gè)板件堆棧于該基板上，且分別形成該多個(gè)噴墨單元的一儲(chǔ)液室、一入液流道、該腔體及一出液流道等微結(jié)構(gòu)，其中該入液流道是與該腔體及該儲(chǔ)液室相連通，而該出液流道是該腔體及該噴墨孔相連通。

7.如權(quán)利要求1所述的噴墨頭壓電致動(dòng)單元的切割方法，其中該晶圓切割刀的厚度是與該壓電致動(dòng)片的厚度相對(duì)應(yīng)，且以不超過(guò)該壓電致動(dòng)片的厚度較佳。

8.如權(quán)利要求7所述的噴墨頭壓電致動(dòng)單元的切割方法，其中該晶圓切割刀的厚度是以50μm為最佳。

9.如權(quán)利要求1所述的噴墨頭壓電致動(dòng)單元的切割方法，其中該壓電致動(dòng)片是為一鋯鈦酸鉛壓電材料所形成。