[發明專利]一種含氟清洗液

有效

• 申請號: 201010277703.0
• 申請日: 2010-09-10
• 公開（公告）號: CN102399648A
• 公開（公告）日: 2012-04-04
• 發明（設計）人: 劉兵;彭洪修;孫廣勝
• 申請（專利權）人: 安集微電子(上海)有限公司
• 主分類號: C11D7/32
• 分類號: C11D7/32;C11D7/26;C11D7/08;C11D7/10;C11D7/50;G03F7/42;H01L21/02
• 代理公司: 上海翰鴻律師事務所 31246
• 代理人: 李佳銘

1.一種含氟清洗液，其包括：氟化物、多元醇、水、溶劑；其中：所述多元醇的重量百分比含量為0.01％～20％，所述水的重量百分比含量為5％～75％。

2.如權利要求1所述含氟清洗液，其特征在于，所述氟化物的重量百分比含量為0.1％～20％，所述溶劑的重量百分比含量為1％～75％。

3.如權利要求1所述含氟清洗液，其特征在于，所述氟化物為氟化氫、或氟化氫與堿形成的鹽，該堿是氨水、季胺氫氧化物或醇胺。

4.如權利要求3所述含氟清洗液，其特征在于，所述氟化物為氟化氫(HF)、氟化銨、氟化氫銨、四甲基氟化銨和/或三羥乙基氟化銨。

5.如權利要求1所述含氟清洗液，其特征在于，所述多元醇為二元醇、三元醇、四元醇、五元醇和/或六元醇。

6.如權利要求5所述含氟清洗液，其特征在于，所述多元醇為乙二醇、1，2-丙二醇、丙三醇、丁四醇、戊五醇、核糖、核酮糖、葡萄糖、葡萄糖醇、己六醇、甘露醇和/或山梨醇。

7.如權利要求6所述含氟清洗液，其特征在于，所述多元醇為丁四醇、戊五醇、核糖、核酮糖、葡萄糖、葡萄糖醇、己六醇、甘露醇和/或山梨醇。

8.如權利要求1所述含氟清洗液，其特征在于，所述溶劑選自亞砜、砜、咪唑烷酮、吡咯烷酮、咪唑啉酮、醚和酰胺中的一種或多種。

9.如權利要求1所述含氟清洗液，其特征在于，所述亞砜為二甲基亞砜；所述砜為環丁砜；所述咪唑烷酮為1，3-二甲基-2-咪唑烷酮；所述吡咯烷酮為N-甲基吡咯烷酮和/或羥乙基吡咯烷酮；所述咪唑啉酮為1，3-二甲基-2-咪唑啉酮；所述醚為丙二醇單甲醚和/或二丙二醇單甲醚；所述酰胺為二甲基甲酰胺和/或二甲基乙酰胺。

10.如權利要求1所述含氟清洗液，其特征在于，所述含氟清洗液還含有其他添加劑。

11.如權利要求10所述含氟清洗液，其特征在于，所述其他添加劑的重量百分比含量為不超過20％。

12.如權利要求10所述含氟清洗液，其特征在于，所述其他添加劑為腐蝕抑制劑和/或螯合劑

13.如權利要求12所述含氟清洗液，其特征在于，所述腐蝕抑制劑選自苯并三氮唑、苯甲酸、聚丙烯酸和1，3-(羥乙基)-2，4，6-三膦酸中的一種或多種；所述的螯合劑是含有多個官能團的有機化合物。

14.如權利要求12所述含氟清洗液，其特征在于，所述螯合劑選自乙醇酸、丙二酸、檸檬酸、亞氨基二乙酸、氨三乙酸、三乙醇胺、乙二胺四乙酸、鄰苯二酚、沒食子酸、水楊酸、五甲基二乙烯三胺、氨基磺酸和磺基水楊酸中的一種或多種。