[發明專利]一種凹面光柵衍射效率測試儀的光路結構

無效

• 申請號: 201010277331.1
• 申請日: 2010-09-10
• 公開（公告）號: CN101995327A
• 公開（公告）日: 2011-03-30
• 發明（設計）人: 巴音賀希格;寇婕婷;吳娜;唐玉國;齊向東;于宏柱;朱文煜
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 劉樹清

1.一種凹面光柵衍射效率測試儀的光路結構，包括光源外光路、前置單色儀、測量單色儀和控制器(37)；所述的光源外光路包括鎢燈(19)、氘燈(20)、聚光鏡(21)；所述的前置單色儀包括入射狹縫(22)、凹面準直鏡(23)、分光光柵(24)、反射聚光鏡(25)、殼體(26)；所述的測量單色儀包括光柵轉臺(31)、殼體(36)；其特征在于還包括前置單色儀中的光纖入孔(27)，測量單色儀中的光纖(28)、光纖出孔(29)、入射光臂(30)、被測凹面光柵(32)或標準凹面反射鏡(33)、出射光臂(34)、光電倍增管(35)；在前置單色儀殼體(26)外的光源外光路中，聚光鏡(21)的正下方兩側分別安置有光源鎢燈(19)和氘燈(20)，該兩個光源先后發出的光線經過聚光鏡(21)反射后，在殼體(26)的入射狹縫(22)處聚焦并入射到前置單色儀中；在聚光鏡(21)和入射狹縫(22)形成的光路光軸上，在前置單色儀殼體(26)內安置有凹面準直鏡(23)，在凹面準直鏡(23)反射平行光束的傳播方向上放置分光光柵(24)，在分光光柵(24)反射光束傳播方向上置有反射聚光鏡(25)，在反射聚光鏡(25)的反射光束打在殼體(26)上的點處，設有光纖入孔(27)，該光纖入孔(27)在反射聚光鏡(25)的焦面上；在測量單色儀殼體(36)內的右部中間位置，裝有光柵轉臺(31)，入射光臂(30)的一端固定在光柵轉臺(31)的底座上，光纖出孔(29)置于入射光臂(30)上，并且能沿著入射光臂(30)來回移動，根據被測凹面光柵(32)的使用參數，光纖出孔(29)在入射光臂(30)上的確定位置處固定，光纖(28)的一端連接光纖入孔(27)，光纖(28)穿過測量單色儀殼體(36)的另一端與光纖出孔(29)相連，光纖出孔(29)出射光束沿入射光臂(30)傳播射向光柵轉臺(31)，在光柵轉臺(31)上放置標準凹面反射鏡(33)，出射光臂(34)能繞著標準凹面反射鏡(33)的中心旋轉，沿著標準凹面反射鏡(33)的反射光束出射方向，將出射光臂(34)固定，光電倍增管(35)放置在出射光臂(34)上，并且能沿著出射光臂(34)來回移動，根據被測凹面光柵(32)的使用參數，將光電倍增管(35)在出射光臂(34)上的確定位置處固定，在光柵轉臺(31)上放置標準凹面反射鏡(33)的位置上，在需要置換被測凹面光柵(32)時，被測凹面光柵(32)就放置在光柵轉臺(31)上放置標準凹面反射鏡(33)的位置上。