[發明專利]廢液回收處理系統

無效

• 申請號: 201010277291.0
• 申請日: 2010-09-09
• 公開（公告）號: CN102398949A
• 公開（公告）日: 2012-04-04
• 發明（設計）人: 吳志鴻
• 申請（專利權）人: 亞泰半導體設備股份有限公司
• 主分類號: C02F1/04
• 分類號: C02F1/04
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 陳健

1.一種廢液回收處理系統，其特征在于，其包含：

一循環動力單元，其上設有一輸氣管路及一進氣管路，且可自所述進氣管路吸入空氣且自所述輸氣管路輸出空氣；

一廢液槽，其為一用以供傾倒儲放化學廢液的容槽，其設置于一密閉空間內，且自所述循環動力單元延伸而出的輸氣管路延伸進入所述廢液槽的槽底部處，以輸出的空氣產生大量的氣泡，且于所述廢液槽的一外環壁面上貼靠設有一水浴單元；

一離析單元，其為一可將空氣冷凝為液態的熱交換裝置，其具有足以將所述蒸發為氣態的溶劑冷凝的低溫，而所述離析單元以一第一管路對應連通于所述廢液槽，以接收自所述廢液槽所排出所述空氣及氣態的溶劑的混合氣體，而后所述離析單元可進行冷凝作用以將所述氣態的溶劑冷凝為液態，且所述離析單元進一步具有一第二管路，并通過所述第二管路排出冷凝為液態的溶劑，且再者，所述離析單元進一步連接于所述循環動力單元的進氣管路，以將離析后剩余的空氣循環輸送回所述循環動力單元，此外，所述離析單元的一熱交換器的一熱輸出端可連接并加溫所述水浴單元，以防止所述廢液槽內的溫度降低；及

一收集單元，其設于所述第二管路的一出口處，以承接并回收所述已成為液態的溶劑。

2.如權利要求1所述的廢液回收處理系統，其特征在于，所述廢液槽的槽底部處置設有一發泡單元，所述發泡單元對應設于所述輸氣管路的一出氣端處。

3.如權利要求2所述的廢液回收處理系統，其特征在于，所述發泡單元為一發泡石。

4.如權利要求2所述的廢液回收處理系統，其特征在于，所述循環動力單元為一抽氣泵。

5.如權利要求2所述的廢液回收處理系統，其特征在于，所述水浴單元為一盛裝液體的容器，且所述容器具有一對應所述廢液槽的外環壁面的凹入外壁，且以所述凹入外壁對應貼靠于所述廢液槽的外環壁面。

6.如權利要求2所述的廢液回收處理系統，其特征在于，所述收集單元為一集液筒。

7.如權利要求2所述的廢液回收處理系統，其特征在于，所述離析單元為一冷凝器。

8.如權利要求2所述的廢液回收處理系統，其特征在于，所述離析單元為一除濕機。

9.如權利要求2所述的廢液回收處理系統，其特征在于，所述離析單元為一冰箱。

10.如權利要求2所述的廢液回收處理系統，其特征在于，所述離析單元為一冷氣機。