[發(fā)明專利]基于四極桿質(zhì)譜的稀有氣體測定系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010272543.0
• 申請日: 2010-09-01
• 公開（公告）號: CN101963596A
• 公開（公告）日: 2011-02-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 龔革聯(lián);周繼彬;孫衛(wèi)東;張曉東;張紅;劉順生
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院廣州地球化學(xué)研究所
• 主分類號: G01N27/62
• 分類號: G01N27/62
• 代理公司: 廣州科粵專利商標(biāo)代理有限公司 44001
• 代理人: 余炳和

1.一種基于四極桿質(zhì)譜的稀有氣體測定系統(tǒng)，其特征在于：包括構(gòu)件：激光樣品室(12)、分子真空泵(8)、機(jī)械泵(9)、真空計(7)、第一雜質(zhì)吸收器(6)、第二雜質(zhì)吸收器(2)、稀有氣體標(biāo)準(zhǔn)罐、離子泵(1)、四極桿質(zhì)譜(3)、第一四通管(31)和第一三通管(21)，通過連接管道：所述的激光樣品室(12)經(jīng)閥B與第一四通管(31)的第～端口相連，第一四通管(31)的第二端口經(jīng)閥D與第一雜質(zhì)吸收器(6)相連、第三端口經(jīng)閥G與第一三通管(21)的第一端口相連，第四端口順序連有分子真空泵(8)和機(jī)械泵(9)，在分子真空泵(8)和第一四通管(31)的第四端口連接管道之間安有真空計(7)，在閥G與第一四通管(31)的第三端口之間的連接管道上連有稀有氣體標(biāo)準(zhǔn)罐，第一三通管(21)的第二端口經(jīng)閥J與離子泵(1)相連，第三端口順序連接第二雜質(zhì)吸收器(2)和四極桿質(zhì)譜(3)，上述構(gòu)件與構(gòu)件之間的連接管道外表面均裝有電加熱帶，上述構(gòu)件與連接管道之間的連接方式均采用金屬接口相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于四極桿質(zhì)譜的稀有氣體測定系統(tǒng)，其特征在于：在所述的第一四通管(31)與閥B之間的連接管道上順序安有第二三通管(22)和第三三通管(23)，第二三通管(22)的一個端口經(jīng)閥A與高溫爐(10)相連，第三三通管(23)的一個端口經(jīng)閥C與液氮手指(11)相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基于四極桿質(zhì)譜的稀有氣體測定系統(tǒng)，其特征在于：，所述的閥A和閥B為手動VCR波紋密封閥門，所述的閥C、D、E、F、G、H、I和J為自動VCR波紋密封閥門。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基于四極桿質(zhì)譜的稀有氣體測定系統(tǒng)，其特征在于：所述的構(gòu)件與構(gòu)件之間的連接管道為VCR管道。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基于四極桿質(zhì)譜的稀有氣體測定系統(tǒng)，其特征在于：所述的激光樣品室(12)是樣品腔的窗口為藍(lán)寶石窗口的激光樣品室。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基于四極桿質(zhì)譜的稀有氣體測定系統(tǒng)，其特征在于：所述的第一雜質(zhì)吸收器(6)和第二雜質(zhì)吸收器(2)為鋯鋁吸氣泵。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基于四極桿質(zhì)譜的稀有氣體測定系統(tǒng)，其特征在于：所述的真空計(7)為電離真空計。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基于四極桿質(zhì)譜的稀有氣體測定系統(tǒng)，其特征在于：在所述的第一四通管(31)與閥G之間的連接管道上連有第二四通管(32)，第二四通管(32)的另外兩個端口分別：經(jīng)閥F和E與第一標(biāo)準(zhǔn)罐(4)相連，經(jīng)閥H和I與第二標(biāo)準(zhǔn)罐(5)相連。