[發明專利]印制線路板、其兩面線路圖形層間對準度檢測方法及裝置

有效

• 申請號: 201010269359.0
• 申請日: 2010-08-31
• 公開（公告）號: CN102032885A
• 公開（公告）日: 2011-04-27
• 發明（設計）人: 唐國梁
• 申請（專利權）人: 北大方正集團有限公司;重慶方正高密電子有限公司
• 主分類號: G01B21/02
• 分類號: G01B21/02;H05K3/00
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種檢測芯板兩面線路圖形的層間對準度的方法，其特征在于，包括：

在印制線路板的芯板的第一面和第二面分別繪制圖形資料，其中，在第一面和第二面的圖形資料的相同位置上分別繪制檢測圖形；

根據已繪制檢測圖形的第一面和第二面的圖形資料，進行芯板的制作，其中，已制作完成的芯板包括與每個檢測圖形的位置對應的檢測物；

在已制作完成的芯板的設定位置上形成定位結構；

根據所述芯板的第一面和第二面上的檢測物分別與所述定位結構之間的測量距離，確定所述芯板兩面線路圖形的層間偏移量。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述檢測圖形包括：圓形、多邊形、環形、或靶盤形；優選地，所述靶盤形包括：一個圓盤，以及四個以所述圓盤的圓心為中心對稱的長方形。

3.如權利要求2所述的方法，其特征在于，當所述檢測圖形為靶盤形時，所述已制作完成的芯板上的檢測物包括：與靶盤形對應的一個圓塊以及四個以所述圓塊的圓心為中心對稱的長方塊；

優選地，所述形成定位結構包括：

以所述芯板的一面的檢測物的圓塊的圓心為基準點，形成通孔。

4.如權利要求3所述的方法，其特征在于，所述確定所述芯板兩面線路圖形的層間偏移量包括：

根據所述芯板的第一面上檢測物中兩個水平方向的長方塊分別與所述通孔的測量距離之間的差值確定第一水平測量距離，以及根據所述芯板的第二面上對應檢測物中兩個水平方向的長方塊分別與所述通孔的測量距離之間的差值確定第二水平測量距離；

根據所述第一水平測量距離，以及第二水平測量距離確定所述芯板兩面線路圖形水平方向的層間偏移量為：第一水平測量距離與第二水平測量距離之間的差值；

根據所述芯板的第一面上檢測物中兩個豎直方向的長方塊分別與所述通孔的測量距離，確定第一豎直測量距離為：兩個測量距離之間的差值，以及根據所述芯板的第二面上對應檢測物中兩個豎直方向的長方塊分別與所述通孔的測量距離，確定第二豎直測量距離為：兩個測量距離之間的差值；

根據所述第一豎直測量距離，以及第二豎直測量距離確定所述芯板兩面線路圖形豎直方向的層間偏移量為：第一豎直測量距離與第二豎直測量距離之間的差值。

5.如前述權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，當在所述芯板每面的圖形資料上有至少兩個檢測圖形時，所述形成定位結構包括：

在已制作完成的芯板上，針對一面上的每個檢測物分別形成對應的一個定位結構；或，

在已制作完成的芯板上，針對一面上的所有檢測物形成一個所述定位結構。

6.如權利要求5所述的方法，其特征在于，當一面上的每個檢測物分別對應一個定位結構時，所述確定所述芯板兩面線路圖形的層間偏移量包括：

測量第一面上的檢測物與其對應的定位結構的第一測量距離，以及第二面上對應的檢測物與相同定位結構的第二測量距離；

根據第一測量距離和對應的第二測量距離，獲得所述芯板兩面線路圖形的層間偏移量。

7.如前述權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，所述定位結構的形狀包括：中心對稱形狀，優選地，所述定位結構包括：通孔或凸部和/或凹部。

8.如前述權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，形成定位結構的方式包括以下中的至少一種：沖制、激光打孔、或化學腐蝕。

9.如前述權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，所述檢測物的材質為金屬材質；優選地，所述檢測物的材質與所述芯板的材質一致。

10.一種印制線路板，包括：有兩面線路圖形的芯板，其特征在于，所述芯板的每面上分別有檢測物，其中，每面上的檢測物與該面圖形資料上的檢測圖形的位置對應，并且，每面圖形資料的相同位置上有相同的檢測圖形；

所述芯板的設定位置上有定位結構，用于根據所述定位結構分別與所述芯板的第一面和第二面上檢測物之間的測量距離，確定所述芯板兩面線路圖形的層間偏移量。

11.一種檢測芯板兩面線路圖形的層間對準度的裝置，其特征在于，包括：

繪制設備，用于在印制線路板的芯板的第一面和第二面分別繪制圖形資料，其中，在第一面和第二面的圖形資料的相同位置上分別繪制檢測圖形；

制作設備，用于根據已繪制檢測圖形的第一面和第二面的圖形資料，進行芯板的制作，其中，已制作完成的芯板包括與每個檢測圖形的位置對應的檢測物；

定位結構形成設備，用于在已制作完成的芯板的設定位置上形成定位結構；

檢測設備，用于根據所述芯板的第一面和第二面上的檢測物分別與所述定位結構之間的測量距離，確定所述芯板兩面線路圖形的層間偏移量。