[發明專利]壓電諧振器結構

有效

• 申請號: 201010267632.6
• 申請日: 2010-08-31
• 公開（公告）號: CN101924529A
• 公開（公告）日: 2010-12-22
• 發明（設計）人: 龐慰;張浩
• 申請（專利權）人: 龐慰;張浩
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 杜文茹

1.一種壓電諧振器結構，其特征在于，包括：

(a)基底，具有頂面、底面、第一末端和對應的第二末端以及中間部分；

(b)聲反射層，具有頂面、底面、第一末端和對應的第二末端以及中間部分，所述的底面置于基底的頂面；

(c)第一電極，具有頂面、底面、第一末端和對應的第二末端以及中間部分，所述的底面置于聲反射層的頂面；

(d)壓電層，具有頂面、底面、第一末端和對應的第二末端以及中間部分，所述的底面置于第一電極的頂面；

(e)第二電極，具有頂面、底面、第一末端和對應的第二末端以及中間部分，所述的底面置于壓電層的頂面；

其中，基底、聲反射層、第一電極、壓電層和第二電極的重疊區域定義為有效激勵區。

2.根據權利要求1所述的壓電諧振器結構，其特征在于，進一步還包括：由第二電極的第一末端延伸出的第一干涉結構和由第二電極的第二末端延伸出的第二干涉結構，在壓電層第一末端形成第一空氣間隙，在壓電層第二末端形成第二空氣間隙。

3.根據權利要求2所述的壓電諧振器結構，其特征在于，所述的由第二電極兩末端延伸出的第一、第二干涉結構分別置于第一、第二空氣間隙上方。

4.根據權利要求1所述的壓電諧振器結構，其特征在于，在第二電極的頂面還設置具有第一末端和第二末端的干涉結構，且該干涉結構的寬度大于第二電極寬度，這樣在第二電極的兩末端分別形成了第一空氣間隙和第二空氣間隙。

5.根據權利要求4所述的壓電諧振器結構，其特征在于，還設置有第一支撐結構和第二支撐結構，所述的第一支撐結構置于干涉結構的第一末端和壓電層上表面之間，所述的第二支撐結構置于干涉結構第二末端和壓電層上表面之間，這樣在第一支撐結構和第二電極的第一末端之間以及第二支撐結構和第二電極的第二末端之間分別形成了第一空氣間隙和第二空氣間隙。

6.根據權利要求1所述的壓電諧振器結構，其特征在于，還設置有具有第一末端和第二末端的第一干涉結構，并置于第二電極頂面，且所述的第一干涉結構的第二末端位于第二電極第一末端上，第一干涉結構的第一末端懸在有效激勵區上方以形成第一空氣間隙；以及還設置有具有第一末端和第二末端的第二干涉結構，并置于第二電極頂面，且所述的第二干涉結構的第二末端位于第二電極的第二末端上，第二干涉結構的第一末端懸在有效激勵區上方以形成第二空氣間隙。

7.根據權利要求1所述的壓電諧振器結構，其特征在于，還設置有具有第一末端和第二末端的第一干涉結構，并置于第二電極頂面，且所述的第一干涉結構的第二末端在第二電極第一末端上，第一干涉結構的第一末端懸停在第二電極和壓電層第一末端上方以形成第一空氣間隙；以及還設置有具有第一末端和第二末端的第二干涉結構，并置于第二電極頂面，且所述的第二干涉結構的第二末端在第二電極第二末端上，第二干涉結構的第一末端懸停在第二電極和壓電層第二末端上方以形成第二空氣間隙。

8.根據權利要求1所述的壓電諧振器結構，其特征在于，還設置有具有第一末端和第二末端的梯形第一干涉結構，并置于第二電極上表面，且所述的第一干涉結構的第二末端置于第二電極的第一末端，第一干涉結構的第一末端在有效激勵區中，形成第一空氣間隙；以及還設置有具有第一末端和第二末端的梯形第二干涉結構置于第二電極上表面，且所述的第二干涉結構的第二末端置于第二電極的第二末端，第二干涉結構的第一末端在有效激勵區中，形成第二空氣間隙。

9.根據權利要求1所述的壓電諧振器結構，其特征在于，還設置有具有第一末端和第二末端的梯形第一干涉結構，所述的第一干涉結構的第一末端置于第二電極的第一末端，第一干涉結構的第二末端置于壓電層第一末端頂面以形成第一空氣間隙；以及還設置有具有第一末端和第二末端的梯形第二干涉結構，所述的第二干涉結構的第一末端置于第二電極的第二末端，第二干涉結構的第二末端置于壓電層第二末端頂面以形成第二空氣間隙。

10.根據權利要求1所述的壓電諧振器結構，其特征在于，還設置有在第一、第二末端對應具有第一、第二拱形干涉結構的干涉結構，并置于第二電極頂面，且所述的干涉結構的第一拱形干涉結構懸停在第二電極和壓電層第一末端頂面上以形成第一空氣間隙，干涉結構的第二拱形干涉結構懸停在第二電極和壓電層第二末端頂面上以形成第二空氣間隙。